[發明專利]疊層型壓電元件及其制造方法

無效

• 申請號: 200910132709.6
• 申請日: 2005-03-29
• 公開（公告）號: CN101593806A
• 公開（公告）日: 2009-12-02
• 發明（設計）人: 中村成信;鶴丸尚文;岡村健
• 申請（專利權）人: 京瓷株式會社
• 主分類號: H01L41/083
• 分類號: H01L41/083;H01L41/22;H01L41/047;H01L41/16
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 汪惠民

1.一種疊層型壓電元件，其特征在于，具有：

疊層體，其具有活性部和位于該活性部的兩端部分別由壓電材料構成的惰性層，所述活性部是交替疊層至少1個壓電體與由第一內部電極及第二內部電極構成的多個內部電極而成的，所述活性部與外加在所述第一內部電極及所述第二內部電極之間的電壓相對應進行伸縮，

外部電極，其分別形成在所述疊層體的2個側面上，其中之一與所述第一內部電極相連接、其中之另一個與所述第二內部電極相連接，

所述疊層體的惰性層包含被分散的金屬。

2.根據權利要求1所述的疊層型壓電元件，其特征在于：

所述金屬是由選自Ag、Pd、Cu、Ca、Na、Pb、Ni構成的群組中的至少1種以上的金屬構成的。

3.根據權利要求1或2所述的疊層型壓電元件，其特征在于：

所述金屬的分散量相對于所述惰性層為0.001～1.0質量％。

4.根據權利要求1或2所述的疊層型壓電元件，其特征在于：

所述惰性層的厚度為0.1～2.0mm。

5.根據權利要求1或2所述的疊層型壓電元件，其特征在于：

所述金屬含有與構成所述內部電極的金屬相同的金屬。

6.根據權利要求1所述的疊層型壓電元件，其特征在于：

所述內部電極中的金屬組成物以8～10族金屬及/或11族金屬為主成分。

7.根據權利要求6所述的疊層型壓電元件，其特征在于：

在所述內部電極中的8～10族金屬的含有量設為M1質量％、11族金屬的含有量設為M2質量％時，滿足0＜M1≤15、85≤M2＜100、M1+M2＝100。

8.根據權利要求6或7所述的疊層型壓電元件，其特征在于：

所述8～10族金屬是Ni、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru、Os中的至少1種以上，11族金屬是Cu、Ag、Au中的至少1種以上。

9.根據權利要求6所述的疊層型壓電元件，其特征在于：

所述8～10族金屬是Pt、Pd中的至少1種以上，11族金屬是Ag、Au中的至少1種以上。

10.根據權利要求6或7所述的疊層型壓電元件，其特征在于：

所述8～10族金屬是Ni。

11.根據權利要求6或7所述的疊層型壓電元件，其特征在于：

所述11族金屬是Cu。

12.根據權利要求6或7所述的疊層型壓電元件，其特征在于：

在所述內部電極中與所述金屬組成物一起添加了氧化物、氮化物或碳化物。

13.根據權利要求12所述的疊層型壓電元件，其特征在于：

所述氧化物以由PbZrO₃-PbTiO₃構成的鈣鈦礦型氧化物為主成分。

14.根據權利要求1所述的疊層型壓電元件，其特征在于：

所述壓電體以鈣鈦礦型氧化物為主成分。

15.根據權利要求14所述的疊層型壓電元件，其特征在于：

所述壓電體以由PbZrO₃-PbTiO₃構成的鈣鈦礦型氧化物為主成分。

16根據權利要求1所述的疊層型壓電元件，其特征在于：

在所述疊層體的所述2個側面中的一個側面上的所述第二內部電極與所述外部電極之間形成有槽，在另一個側面上的所述第一內部電極與所述外部電極之間形成有槽，

在所述槽中分別填充有楊氏模量比所述壓電體低的絕緣體。