[發(fā)明專(zhuān)利]一種基于MEMS技術(shù)的微液量計(jì)量裝置及其方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910131646.2
• 申請(qǐng)日: 2009-04-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101598586A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-12-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖巍;馮中寶;劉旭東;田海濤;徐劍飛;陳杰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 廣州市怡文科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01F22/02
• 分類(lèi)號(hào): G01F22/02;G01L13/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種基于MEMS技術(shù)的微液量計(jì)量方法，包括：MEMS微結(jié)構(gòu)壓力傳感器、電路板、橡膠管、氣閉管道、蓄存管道；所述MEMS微結(jié)構(gòu)壓力傳感器封裝在電路板上，所述MEMS微結(jié)構(gòu)壓力傳感器的P1管與大氣相通，P2管通過(guò)所述橡膠管與所述氣閉管道的一端相連接，所述氣閉管道的另一端與所述蓄存管道相連接；

在蓄存管道中加入一定量的液體，使氣閉管道中的空氣被封閉起來(lái)；

將被計(jì)量液體由進(jìn)液口加入蓄存管道；

利用MEMS微結(jié)構(gòu)壓力傳感器測(cè)量氣閉管道中的壓力變化ΔP；

利用ΔP計(jì)算出被計(jì)量液體的體積ΔV。

2.如權(quán)利要求1所述的一種基于MEMS技術(shù)的微液量計(jì)量方法，其中：

所述利用ΔP計(jì)算出被計(jì)量液體的體積ΔV采用以下公式：

ΔV=πR2Pfullρg(Ufull-Uoffset)(U2-U1)=πR2Pfullρg(Ufull-Uoffset)ΔU]]>

式中，U₁、U₂表示液體加入前和加入后傳感器的輸出電壓，P_full表示傳感器所能測(cè)的最大壓力，U_full表示傳感器的滿(mǎn)刻度正壓力輸出，U_offset表示傳感器的零偏置電壓，R為蓄存管道的半徑，ρ為所測(cè)液體的密度。

3.一種基于MEMS技術(shù)的微液量計(jì)量方法，包括：MEMS微結(jié)構(gòu)壓力傳感器、電路板、橡膠管、氣閉管道、蓄存管道；所述MEMS微結(jié)構(gòu)壓力傳感器封裝在電路板上，所述MEMS微結(jié)構(gòu)壓力傳感器的P1管與大氣相通，P2管通過(guò)所述橡膠管與所述氣閉管道的一端相連接，所述氣閉管道的另一端與所述蓄存管道相連接；

測(cè)出未加入計(jì)量液體前氣閉管道中氣體的壓力；

將被計(jì)量液體由進(jìn)液口加入蓄存管道；

利用MEMS微結(jié)構(gòu)壓力傳感器測(cè)量氣閉管道中的壓力變化ΔP；

利用ΔP計(jì)算出被計(jì)量液體的體積V。

4.如權(quán)利要求3所述的一種基于MEMS技術(shù)的微液量計(jì)量方法，其中：

所述利用ΔP計(jì)算出被計(jì)量液體的體積V采用以下公式：

V=πR2Pfullρg(Ufull-Uoffset)(U2-U1)+V0=πR2Pfullρg(Ufull-Uoffset)ΔU+V0]]>

式中，U₁、U₂表示液體加入前和加入后傳感器的輸出電壓，P_full表示傳感器所能測(cè)的最大壓力，U_full表示傳感器的滿(mǎn)刻度正壓力輸出，U_offset表示傳感器的零偏置電壓，R為蓄存管道的半徑，ρ為所測(cè)液體的密度，V₀為蓄存管道底部不產(chǎn)生壓力的液體體積。