[發(fā)明專(zhuān)利]采用氣浮平面電機(jī)的硅片臺(tái)雙臺(tái)交換系統(tǒng)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910131508.4
• 申請(qǐng)日: 2009-04-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101515119A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-08-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱煜;張鳴;汪勁松;閔偉;尹文生;胡金春;徐登峰;楊開(kāi)明;段廣洪;田麗;許巖
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 清華大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20;H01L21/677;H01L21/68;H02K33/18
• 代理公司: 北京鴻元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 邸更巖

1.一種采用氣浮平面電機(jī)的硅片臺(tái)雙臺(tái)交換系統(tǒng)，包括基臺(tái)(11)和兩個(gè)結(jié)構(gòu)相同的分別 工作于預(yù)處理工位和曝光工位的硅片臺(tái)，基臺(tái)頂部設(shè)置有平面永磁陣列(16)，該平面永磁陣 列由一系列磁化方向交錯(cuò)排列的永磁體布置而成，其特征在于：所述每個(gè)硅片臺(tái)由平臺(tái)(12) 和設(shè)置于平臺(tái)底部的移動(dòng)電磁結(jié)構(gòu)(14)以及氣浮結(jié)構(gòu)(13)組成；所述移動(dòng)電磁結(jié)構(gòu)由n個(gè)在以 硅片臺(tái)質(zhì)心為原點(diǎn)的坐標(biāo)系中關(guān)于X軸對(duì)稱(chēng)分布且關(guān)于Y軸對(duì)稱(chēng)分布的線圈陣列組成，n為大于 等于4的偶數(shù)，相鄰線圈陣列排列方向互成90°布置；所述氣浮結(jié)構(gòu)至少由兩個(gè)軸對(duì)稱(chēng)均布的 氣浮軸承組成。

2.按照權(quán)利要求1所述的采用氣浮平面電機(jī)的硅片臺(tái)雙臺(tái)交換系統(tǒng)，其特征在于：所述 移動(dòng)電磁結(jié)構(gòu)由四個(gè)線圈陣列組成，每個(gè)線圈陣列由五個(gè)矩形無(wú)鐵芯線圈線性排列而成，線 圈排列方向與永磁陣列排列方向成45°角布置；所述氣浮結(jié)構(gòu)由5個(gè)設(shè)置于平臺(tái)底部的氣浮 軸承組成，5個(gè)氣浮軸承在以硅片臺(tái)質(zhì)心為原點(diǎn)的坐標(biāo)系中關(guān)于X軸軸對(duì)稱(chēng)分布且關(guān)于Y軸 軸對(duì)稱(chēng)分布，線圈陣列和氣浮軸承在平臺(tái)底部交錯(cuò)排列。

3.按照權(quán)利要求1所述的采用氣浮平面電機(jī)的硅片臺(tái)雙臺(tái)交換系統(tǒng)，其特征在于：所述 的平面永磁陣列由一系列永磁體在底座上排列成Halbach陣列。