[發明專利]采用氣浮平面電機的硅片臺雙臺交換系統

無效

• 申請號: 200910131508.4
• 申請日: 2009-04-03
• 公開（公告）號: CN101515119A
• 公開（公告）日: 2009-08-26
• 發明（設計）人: 朱煜;張鳴;汪勁松;閔偉;尹文生;胡金春;徐登峰;楊開明;段廣洪;田麗;許巖
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/677;H01L21/68;H02K33/18
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司
• 代理人: 邸更巖

1.一種采用氣浮平面電機的硅片臺雙臺交換系統，包括基臺(11)和兩個結構相同的分別 工作于預處理工位和曝光工位的硅片臺，基臺頂部設置有平面永磁陣列(16)，該平面永磁陣 列由一系列磁化方向交錯排列的永磁體布置而成，其特征在于：所述每個硅片臺由平臺(12) 和設置于平臺底部的移動電磁結構(14)以及氣浮結構(13)組成；所述移動電磁結構由n個在以 硅片臺質心為原點的坐標系中關于X軸對稱分布且關于Y軸對稱分布的線圈陣列組成，n為大于 等于4的偶數，相鄰線圈陣列排列方向互成90°布置；所述氣浮結構至少由兩個軸對稱均布的 氣浮軸承組成。

2.按照權利要求1所述的采用氣浮平面電機的硅片臺雙臺交換系統，其特征在于：所述 移動電磁結構由四個線圈陣列組成，每個線圈陣列由五個矩形無鐵芯線圈線性排列而成，線 圈排列方向與永磁陣列排列方向成45°角布置；所述氣浮結構由5個設置于平臺底部的氣浮 軸承組成，5個氣浮軸承在以硅片臺質心為原點的坐標系中關于X軸軸對稱分布且關于Y軸 軸對稱分布，線圈陣列和氣浮軸承在平臺底部交錯排列。

3.按照權利要求1所述的采用氣浮平面電機的硅片臺雙臺交換系統，其特征在于：所述 的平面永磁陣列由一系列永磁體在底座上排列成Halbach陣列。