[發明專利]廢液分段濃度處理系統

無效

• 申請號: 200910130335.4
• 申請日: 2009-03-31
• 公開（公告）號: CN101851031A
• 公開（公告）日: 2010-10-06
• 發明（設計）人: 蔡峻宏;溫一鴻;楊月香
• 申請（專利權）人: 蔡峻宏;溫一鴻;楊月香
• 主分類號: C02F9/02
• 分類號: C02F9/02;C02F1/52;C02F1/42;C02F1/28
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

技術領域

本發明涉及一種廢液處理系統，特別是涉及一種廢液分段濃度處理系統。

背景技術

例，蝕刻制程大都使用含腐蝕性的液體，且為了保持良好的清洗及蝕刻率，必需將腐蝕性液體的濃度控制在固定濃度范圍內，因此在制程中所產生的原料廢液會含有大量氟離子，而依環保法規定半導體制造業所排放的廢水，氟離子濃度不得高于15ppm，才得以排放。

茲因離子態制程水溶液處理過程均有化學-碰撞理論-降解現象，請配合參閱圖1所示，是為習知氫氟酸廢水加藥反應示意圖，由圖中可清楚得知在處理較高濃度離子態制水溶液時，所添加的反應藥劑為常態比例，但當處理至固定低離子濃度時，處理藥劑比例為倍數增加，相當浪費藥劑，且藥劑價格相當昂貴，非常不符成本概念。

由此可見，上述現有的廢液處理系統在結構與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進一步改進。為了解決上述存在的問題，相關廠商莫不費盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設計被發展完成，而一般產品又沒有適切結構能夠解決上述問題，此顯然是相關業者急欲解決的問題。因此如何能創設一種新型的廢液分段濃度處理系統，實屬當前重要研發課題之一，亦成為當前業界極需改進的目標。

有鑒于上述現有的廢液處理系統存在的缺陷，本發明人基于從事此類產品設計制造多年豐富的實務經驗及專業知識，并配合學理的運用，積極加以研究創新，以期創設一種新型的廢液分段濃度處理系統，能夠改進一般現有的廢液處理系統，使其更具有實用性。經過不斷的研究、設計，并經過反復試作樣品及改進后，終于創設出確具實用價值的本發明。

發明內容

本發明的主要目的在于，克服現有的廢液處理系統存在的缺陷，而提供一種新型的廢液分段濃度處理系統，所要解決的技術問題是使其有效減少藥劑使用量及可將廢液回收再利用，非常適于實用。

本發明的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。依據本發明提出的一種廢液分段濃度處理系統，是應用于高濃度廢液處理，其處理步驟如下：步驟A：將一高濃度廢液及要與廢液反應的藥劑一并導入一高濃度處理單元，藉由該藥劑與該高濃度廢液沉淀反應，以降低廢液濃度使其形成一低濃度廢液；步驟B：將低濃度廢液導引至一低濃度處理單元進行吸附作業，以降低廢液濃度，并產生一高濃度濃縮再生液；步驟C：將該高濃度濃縮再生液利用一脫附單元脫附后使其提高廢液濃度，再導引至該高濃度廢液中并重復A-C步驟。

本發明的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。

前述的廢液分段濃度處理系統，其中所述的低濃度處理單元是利用一離子交換樹脂吸附材料。

前述的廢液分段濃度處理系統，其中所述的低濃度處理單元是利用一沸石吸附材料。

本發明的目的及解決其技術問題還采用以下技術方案來實現。依據本發明提出的一種廢液分段濃度處理系統，是應用于大水量低濃度廢液處理，其處理步驟如下：步驟A：將低濃度廢液導入該低濃度處理單元進行吸附作業，以降低廢液濃度使其形成一低濃度廢液，并產生一高濃度濃縮再生液；步驟B：而該高濃度濃縮再生液則再利用一脫附單元脫附后可提高其廢液濃度，再導引至該高濃度廢液中；步驟C：再將該高濃度廢液及要與廢液反應的藥劑一并導入該高濃度處理單元，藉由該藥劑與該高濃度廢液沉淀反應，以降低廢液濃度使其形成一低濃度廢液，并重復A-C步驟。

本發明的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。

前述的廢液分段濃度處理系統，其中所述的低濃度處理單元是利用一離子交換樹脂吸附材料。

前述的廢液分段濃度處理系統，其中所述的低濃度處理單元是利用一沸石吸附材料。

本發明與現有技術相比具有明顯的優點和有益效果。由以上可知，為達到上述目的，本發明提供了一種廢液分段濃度處理系統，是包括有一高濃度廢液、一低濃度廢液、一高濃度處理單元、一低濃度處理單元、一脫附單元。

該高濃度廢液及要與廢液反應的藥劑一并導入一高濃度處理單元，藉由該藥劑與該高濃度廢液沉淀反應，以降低廢液濃度使其形成一低濃度廢液，再將低濃度廢液導引至一低濃度處理單元，使其廢液濃度降低至排放標準以下以進行放流或回收；除此經該低濃度處理單元后會產生一高濃度濃縮再生液，將該高濃度濃縮再生液再利用一脫附單元脫附后可提高其廢液濃度，最后導引至該高濃度廢液中并重復上述步驟，俾能達到廢液再生利用及減少藥劑使用量的功效。

借由上述技術方案，本發明廢液分段濃度處理系統至少具有下列優點及有益效果：

1、本發明將高濃度廢液及大水量低濃度廢液分段處理，有效減少化學藥劑的使用量。