[發明專利]壓電材料及壓電元件有效
| 申請號： | 200910129911.3 | 申請日： | 2009-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN101552317A | 公開（公告）日： | 2009-10-07 |
| 發明（設計）人： | 濱田泰彰;木島健 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | H01L41/083 | 分類號： | H01L41/083;H01L41/18;B41J2/135 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 李貴亮 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓電 材料 元件 | ||
1.一種壓電元件，其特征在于，其具有：
第一電極、配置于所述第一電極上的壓電體膜、配置于所述壓電體膜 上的第二電極，
構成所述壓電體膜的壓電材料為由Bi(Fe、Mn)O3和Ba(Zr、Ti) O3的混合晶構成的壓電材料，
所述壓電材料由組成式(1-x)Bi(Fe1-yMny)O3-xBa(ZruTi1-u)O3表示，且0＜x＜0.40、0.01＜y＜0.10及0＜u＜0.16。
2.如權利要求1所述的壓電元件，其特征在于，
所述第一電極及第二電極由金屬或導電性氧化物的單一成分或它們 的層疊體構成。
3.如權利要求1所述的壓電元件，其特征在于，
所述第一電極或第二電極由Pt、Ir、Au、Ti、Zr、Fe、Mn、Ni、Co、 IrO2、Nb：SrTiO3、La：SrTiO3、SrRuO3、LaNiO3、(La、Sr)FeO3、(La、 Sr)CoO3中的任一種或它們的層疊體構成。
4.如權利要求1～3中任一項所述的壓電元件，其特征在于，
所述第一電極、壓電材料膜及第二電極形成在基體上。
5.如權利要求4所述的壓電元件，其特征在于，
所述基體由半導體材料、金屬、陶瓷、玻璃中的任一種構成。
6.如權利要求4所述的壓電元件，其特征在于，
構成所述基體的材料具有熔點或玻璃化溫度，且熔點及玻璃化溫度為 650℃以上。
7.一種液體噴射頭，其特征在于，
含有權利要求1～6中任一項所述的壓電元件。
8.一種液體噴射裝置，其特征在于，
含有權利要求7所述的液體噴射頭。
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