[發(fā)明專利]測量裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910127444.0 | 申請日： | 2009-03-11 |
| 公開（公告）號： | CN101532832A | 公開（公告）日： | 2009-09-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 石津千裕;山本武 | 申請（專利權(quán)）人： | 三豐株式會社 |
| 主分類號： | G01B21/30 | 分類號： | G01B21/30 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 | 代理人： | 岳雪蘭 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 測量 裝置 | ||
1.一種測量裝置，包括放置被測物的工作臺、具有多種探頭的探頭支架以及使所述工作臺和所述探頭支架相對移動的相對移動機構(gòu)，該測量裝置的特征在于，
在所述探頭支架上設(shè)有探頭切換機構(gòu)，所述探頭切換機構(gòu)為選擇性地使至少兩個以上的所述探頭相對所述探頭支架的探頭切換位置能夠定位且能夠退避地作進退動作。
2.如權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述探頭切換機構(gòu)構(gòu)成為具有多個導(dǎo)軌，并且所述探頭沿著該各導(dǎo)軌能夠進退，所述多個導(dǎo)軌為一端位于所述探頭切換位置附近，另一端從所述探頭切換位置逐漸離開且沿著相互離開的方向延伸。
3.如權(quán)利要求2所述的測量裝置，其特征在于，所述探頭支架具有支持面，所述支持面為圍繞所述探頭切換位置且相互交叉而形成，
所述探頭切換機構(gòu)具有兩個導(dǎo)軌，所述兩個導(dǎo)軌為被設(shè)于所述支持面上，并且一端位于所述探頭切換位置附近，另一端從所述探頭切換位置逐漸離開且沿著相互離開的方向傾斜地延伸。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的測量裝置，其特征在于，所述探頭切換位置被設(shè)定在所述探頭支架的可動軸線附近。
5.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的測量裝置，其特征在于，所述探頭具有激光位移探頭、接觸探頭及圖像探頭中的至少兩個探頭。
6.如權(quán)利要求4所述的測量裝置，其特征在于，所述探頭具有激光位移探頭、接觸探頭及圖像探頭中的至少兩個探頭。
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