[發明專利]靶材組件的制作方法

有效

• 申請號: 200910127246.4
• 申請日: 2009-03-12
• 公開（公告）號: CN101543935A
• 公開（公告）日: 2009-09-30
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;歐陽琳;王學澤;劉慶
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號: B23K20/00
• 分類號: B23K20/00;B23K20/24;B23K20/26;C23G5/02;C22C21/00;C22C21/02;C22C21/12;C21D9/50;C21D11/00;C23C14/34;B23K103/10
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 李 麗

1.一種靶材組件的制作方法，其特征在于，包括：

提供焊接材料，所述焊接材料包括靶材坯料和背板，所述靶材坯料為鋁 或鋁合金；

比較靶材坯料和背板的硬度，對硬度比較高的焊接材料進行機械加工， 對靶材坯料進行清洗處理，對所述背板進行清洗處理；

將所述靶材坯料采用模具固定，所述模具形狀為能固定所述靶材坯料的 中空結構，且所述采用模具固定的工藝參數為：將模具放入加熱爐中升溫到 200℃至300℃，并保溫0.5小時至1小時；將靶材坯料放入加熱爐中升溫到 200℃至300℃，并保溫0.5小時至1小時，利用模具固定住靶材坯料；利用 擴散焊接將靶材坯料與背板焊接形成靶材組件。

2.根據權利要求1所述的靶材組件的制作方法，其特征在于，所述背板材料 具體選自鋁或者鋁合金。

3.根據權利要求1所述的靶材組件的制作方法，其特征在于，所述靶材坯料 的清洗處理具體為使用含有酒精或IPA的有機溶劑進行清洗。

4.根據權利要求1所述的靶材組件的制作方法，其特征在于，所述機械加工 為把焊接材料的焊接面加工成螺紋狀。

5.根據權利要求1所述的靶材組件的制作方法，其特征在于，所述背板的清 洗處理具體為使用含有酒精或IPA的有機溶劑進行清洗。

6.根據權利要求1所述的靶材組件的制作方法，其特征在于，所述擴散焊接 的壓強為50兆帕至160兆帕。

7.根據權利要求1所述的靶材組件的制作方法，其特征在于，所述擴散焊接 的保壓時間為10分鐘至60分鐘。

8.根據權利要求1所述的靶材組件的制作方法，其特征在于，所述擴散焊接 的擴散熱處理溫度為200℃至300℃。

9.根據權利要求1所述的靶材組件的制作方法，其特征在于，所述擴散焊接 保溫時間為3小時至5小時。