[發(fā)明專利]利用低電功率生成等離子體的便攜式微波等離子體生成器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910127111.8
• 申請(qǐng)日: 2009-03-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101662880A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-03-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔峻;費(fèi)利佩·伊薩;李在九
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浦項(xiàng)工科大學(xué)校產(chǎn)學(xué)協(xié)力團(tuán)
• 主分類號(hào): H05H1/30
• 分類號(hào): H05H1/30;H01J37/32
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 余 朦;王艷春

1.一種能夠利用低電功率生成等離子體的便攜式微波等離子體生 成器，包括：

同軸電纜，所述同軸電纜包括：

第一內(nèi)導(dǎo)體，以及

介電材料，環(huán)繞所述第一內(nèi)導(dǎo)體；

外導(dǎo)體，環(huán)繞所述同軸電纜；

連接導(dǎo)體，包括至少一個(gè)進(jìn)氣管，并且所述連接導(dǎo)體在所述同軸 電纜的一端電連接于所述第一內(nèi)導(dǎo)體和所述外導(dǎo)體之間；

釋放梢，所述釋放梢位于所述同軸電纜的另一端，在所述同軸電 纜上釋放等離子體；以及

連接部，包括第二內(nèi)導(dǎo)體，所述第二內(nèi)導(dǎo)體穿過(guò)徑向限定在所述 外導(dǎo)體中的孔并與設(shè)置在所述外導(dǎo)體中的所述第一內(nèi)導(dǎo)體連接，

其中，通過(guò)所述第二內(nèi)導(dǎo)體向所述同軸電纜施加微波，以及

通過(guò)調(diào)整所述第一內(nèi)導(dǎo)體和所述連接部的所述第二內(nèi)導(dǎo)體相互接 觸的饋送點(diǎn)的位置，在微波振蕩器和所述微波等離子體生成器之間容 易地實(shí)現(xiàn)阻抗匹配，其中微波振蕩器通過(guò)所述第二內(nèi)導(dǎo)體向所述同軸 電纜施加微波。

2.如權(quán)利要求1所述的便攜式微波等離子體生成器，其中所述介 電材料是空氣，是引入惰性氣體的空間。

3.如權(quán)利要求2所述的便攜式微波等離子體生成器，其中所述惰 性氣體為選自氦和氬組成的組中的一種。

4.如權(quán)利要求2所述的便攜式微波等離子體生成器，其中所述微 波的頻率為900兆赫茲或2.45千兆赫茲。

5.如權(quán)利要求2所述的便攜式微波等離子體生成器，其中所述同 軸電纜的長(zhǎng)度為微波波長(zhǎng)的四分之一或四分之三。

6.如權(quán)利要求2所述的便攜式微波等離子體生成器，其中所述同 軸電纜的長(zhǎng)度為微波波長(zhǎng)的四分之一的任意倍數(shù)或四分之三的任意倍 數(shù)。

7.如權(quán)利要求1所述的便攜式微波等離子體生成器，其中，所述 同軸電纜包括至少兩個(gè)部分，所述兩個(gè)部分能夠以調(diào)整所述同軸電纜 長(zhǎng)度的方式相互附接或分離，或者能夠以調(diào)整所述同軸電纜長(zhǎng)度的方 式相對(duì)于彼此滑動(dòng)。

8.如權(quán)利要求4所述的便攜式微波等離子體生成器，其中，當(dāng)微 波的頻率是900兆赫茲時(shí)，所述釋放梢和所述第一內(nèi)導(dǎo)體之間的間隔 是40μm。

9.如權(quán)利要求4所述的便攜式微波等離子體生成器，其中，當(dāng)微 波的頻率是2.45千兆赫茲時(shí)，所述釋放梢和所述第一內(nèi)導(dǎo)體之間的間 隔是100μm。