[發(fā)明專利]磁控濺射環(huán)件用環(huán)體表面柔性滾花方法及刀具

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910117303.0
• 申請(qǐng)日: 2009-06-04
• 公開（公告）號(hào): CN101574766A
• 公開（公告）日: 2009-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張春恒;汪凱;郭叢喜;李桂鵬;同磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西北稀有金屬材料研究院
• 主分類號(hào): B23P9/02
• 分類號(hào): B23P9/02;B23B27/24
• 代理公司: 寧夏專利服務(wù)中心
• 代理人: 葉學(xué)軍

技術(shù)領(lǐng)域：

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體表面濺射鍍技術(shù)所需要的一個(gè)部件的表面處理，又屬于有色金屬的機(jī)械加工技術(shù)，特別是一種磁控濺射環(huán)件用環(huán)體表面柔性滾花方法及刀具。

背景技術(shù)：

磁控濺射環(huán)件應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)，是半導(dǎo)體濺射設(shè)備中的與靶材配套用使用的重要耗用品。環(huán)件的市場(chǎng)主要有兩個(gè)方面：第一，隨著設(shè)備制造廠商新的設(shè)備的生產(chǎn)、投入而增加；第二，設(shè)備的使用者在半導(dǎo)體濺射中因損耗而需更新新的環(huán)件。加工環(huán)件的主要有鉭、鈦、鋁等材料，隨著靶材市場(chǎng)的不斷增大，環(huán)件的市場(chǎng)也越來越大。磁控濺射環(huán)件要求環(huán)體表面全部滾凸菱形等花紋，由于環(huán)體由板坯卷制，相對(duì)于軸線存在較大的圓周跳動(dòng)量。如果用傳統(tǒng)的剛性滾花刀具進(jìn)行滾花，由于環(huán)體圓周跳動(dòng)的原因，使得滾花輪和環(huán)體不能在滾花全過程保持接觸壓力恒定在合理范圍內(nèi)，甚至不能保證滾花輪和環(huán)體的全過程接觸，結(jié)果往往是滾花深淺差別巨大，還存在大片區(qū)域沒有滾上花紋，無法滿足生產(chǎn)要求。所以以往的加工方法是將環(huán)體厚度加大，卷圓后經(jīng)過車削得到圓整表面才能進(jìn)行滾花加工；環(huán)體的最終的厚度是3.175mm，如果給內(nèi)外表面車削留余量，則板坯厚度至少要增至5.2mm，材料浪費(fèi)，工藝復(fù)雜，顯而易見。

發(fā)明內(nèi)容：

本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)缺陷提供一種磁控濺射環(huán)件用環(huán)體表面柔性滾花方法；

本發(fā)明的另一目的是提供一種磁控濺射環(huán)件用環(huán)體表面柔性滾花刀具。

本發(fā)明的目的按照下述方案實(shí)現(xiàn)：

磁控濺射環(huán)件用環(huán)體表面柔性滾花方法，采用車床為加工工具，環(huán)件作圓周運(yùn)動(dòng)，帶滾輪的刀具作軸向直線運(yùn)動(dòng)，環(huán)件直接用板坯圈園，采用的加工刀具為滾輪可沿軸向作往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的柔性刀具；

磁控濺射環(huán)件用環(huán)體表面柔性滾花刀具，包括刀柄(2)、刀桿(4)和滾輪(5)，滾輪(5)裝在刀桿(4)外端，刀柄(2)與刀桿(4)之間是彈性連接；

所述的彈性連接裝置是指在刀柄(2)和刀桿(4)之間裝有彈性部件；

所述彈性部件是彈簧(3)；

所述彈性部件是橡膠棒。

本發(fā)明在加工環(huán)件原料時(shí)，無需留加工余量，按設(shè)計(jì)尺寸直接圈園后就可滾花，大大節(jié)約了原料，降低了生產(chǎn)成本。此外，采用柔性刀具，第一，可以給刀桿一定的預(yù)壓力，進(jìn)而通過調(diào)整刀柄徑向進(jìn)給量保證滾輪與環(huán)件的接觸壓力；第二，刀具的伸縮性，可以實(shí)現(xiàn)刀桿帶動(dòng)滾花輪在徑向有一定的變動(dòng)量，保證滾花輪與環(huán)體全時(shí)接觸且接觸壓力無大幅改變，從而實(shí)現(xiàn)整個(gè)表面的滾花加工，保證了滾花的質(zhì)量。

附圖說明：

圖1是本發(fā)明加工對(duì)象磁控濺射環(huán)件的俯視示意圖；

圖2是本發(fā)明加工對(duì)象磁控濺射環(huán)件的正面示意圖；

圖3是本發(fā)明柔性刀具的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式：

如圖1、圖2所示，本發(fā)明的加工對(duì)象為磁控濺射環(huán)件，它由環(huán)體(6)和位于環(huán)體外緣的若干個(gè)凸結(jié)體(7)構(gòu)成，本發(fā)明要解決的問題是環(huán)體內(nèi)外表面滾80TPI凸菱形花紋。本發(fā)明的刀具結(jié)構(gòu)如圖3所示，刀柄(2)的結(jié)構(gòu)類似于套筒，刀桿(4)或(3)的結(jié)構(gòu)類似于位于刀柄內(nèi)的活塞桿，兩者中間裝有彈簧或橡膠類彈性材料，刀桿(4)或(3)的一端裝有滾輪(5)，另一端伸出刀柄外并配有螺母(1)，旋轉(zhuǎn)螺母可以調(diào)整滾輪與被加工件之間的接觸壓力。