[發(fā)明專利]基于PET的曲面亞波長光柵的制作方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200910117139.3 | 申請(qǐng)日： | 2009-06-24 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101576627A | 公開（公告）日： | 2009-11-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王旭迪;盧景景;金傳山;金建 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 合肥工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G02B5/18 | 分類號(hào)： | G02B5/18;G02B1/04 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 pet 曲面 波長 光柵 制作方法 | ||
1.基于PET的曲面亞波長光柵的制作方法，其特征是按如下步驟操作：
a、利用全息光刻系統(tǒng)在硅襯底表面UVIII膠層上制作亞波長光柵圖形，形成圖形轉(zhuǎn)移膠層，以所述圖形轉(zhuǎn)移膠層作為刻蝕掩模，利用刻蝕機(jī)執(zhí)行反應(yīng)離子深刻蝕，將所述亞波長光柵圖形轉(zhuǎn)移到所述硅襯底上，再去除所述圖形轉(zhuǎn)移膠層得到光柵硅模版；
b、將PET片材切割成所需要的形狀并清洗得到PET基片，所述PET基片與所述光柵硅模版在真空環(huán)境中，共同加熱到90℃后，繼續(xù)以90℃烘烤20分鐘；
c、在90℃的真空環(huán)境中，施加2Mpa的壓印壓力，將所述光柵硅模版壓入經(jīng)加熱軟化的所述PET基片，保持環(huán)境條件及壓印壓力10分鐘；
d、在壓印壓力沒有撤走之前開始降溫，當(dāng)溫度降到30度時(shí)，分離所述光柵硅模版和所述PET基片，得到PET平面亞波長光柵基片；
e、用膠粘劑將步驟d所得PET平面亞波長光柵基片粘貼在曲面上，且光柵圖形向外，膠粘劑固化即得到基于PET的曲面亞波長光柵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于PET的曲面亞波長光柵的制作方法，其特征是在所述步驟a中采用SF6、C4F8和O2的混合氣體作為刻蝕氣體，所述刻蝕氣體按體積比的SF6∶C4F8∶O2為35∶85∶10。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于PET的曲面亞波長光柵的制作方法，其特征是所述步驟e中的膠粘劑采用雙組份膠粘劑DG-4。
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