[發明專利]用于光學讀出熱型紅外輻射傳感器的大尺寸微梁陣列

無效

• 申請號: 200910116862.X
• 申請日: 2009-05-25
• 公開（公告）號: CN101565161A
• 公開（公告）日: 2009-10-28
• 發明（設計）人: 張青川;程騰;陳大鵬;焦斌斌;伍小平;葉甜春
• 申請（專利權）人: 張青川
• 主分類號: B81B7/04
• 分類號: B81B7/04;G01J5/02
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司
• 代理人: 余成俊

1.一種用于光學讀出熱型紅外輻射傳感器的大尺寸微梁陣列，包括若干由 熱絕緣材料構成的縱梁(1)和橫梁(2)，縱梁(1)按間距M沿X軸等間距分布， 橫梁(2)按間距N沿Y軸等間距分布，其中，M、N為正整數，定義X軸、Y軸 在微梁陣列所處平面內，Z軸垂直于X-Y平面并與X軸、Y軸構成右手直角坐標 系，縱梁(1)和橫梁(2)呈“井”字型交叉分布形成單元網格(3)陣列，單 元網格(3)沿Z軸完全鏤空；所述的單元網格(3)內的縱梁(1)或橫梁(2) 上通過支撐腿(5)連接有對紅外輻射敏感的微梁單元(4)；所述微梁單元(4) 生長于所述縱梁(1)或橫梁(2)側壁的上、中或下方；其特征在于所述的縱梁 (1)和橫梁(2)的梁寬W為0.1-3微米，梁厚H為0.2-150微米，梁厚H為梁 寬W的2-50倍，梁的長度L不能過長，所述的縱梁(1)和橫梁(2)的梁寬W 或梁厚H為相同或不同。

2.根據權利要求1所述的大尺寸微梁陣列，其特征在于所述的縱梁(1)和 橫梁(2)的梁寬W為0.1-1微米，梁厚H為0.2-10微米，梁厚H為梁寬W的 2-10倍，梁的長度L不能過長，所述的縱梁(1)和橫梁(2)的梁寬W或梁厚H 為相同或不同。

3.根據權利要求1所述的大尺寸微梁陣列，其特征在于所述的縱梁(1)和 橫梁(2)的梁寬W為0.1-1微米，梁厚H為1-50微米，梁厚H為梁寬W的10-50 倍，梁的長度L不能過長，所述的縱梁(1)和橫梁(2)的梁寬W或梁厚H為相 同或不同。

4.根據權利要求1所述的大尺寸微梁陣列，其特征在于所述的縱梁(1)和 橫梁(2)的梁寬W為1-3微米，梁厚H為2-30微米，梁厚H為梁寬W的2-10 倍，梁的長度L不能過長，所述的縱梁(1)和橫梁(2)的梁寬W或梁厚H為相 同或不同。

5.根據權利要求1所述的大尺寸微梁陣列，其特征在于所述的縱梁(1)和 橫梁(2)的梁寬W為1-3微米，梁厚H為10-150微米，梁厚H為梁寬W的10-50 倍，梁的長度L不能過長，所述的縱梁(1)和橫梁(2)的梁寬W或梁厚H為相 同或不同。

6.根據權利要求1所述的大尺寸微梁陣列，其特征在于：所述的單元網格 (3)陣列中，沿X軸方向，每間隔一定長度L₀，設置一個縱梁(1)為增強縱梁 (1′)，所述的增強縱梁(1′)的梁寬為3-10微米，梁厚H₁為6-500微米； 沿Y軸方向，每間隔一定長度L₁，設置一個橫梁(2)為增強橫梁(2′)，所述 的增強橫梁(2′)的梁寬為3-10微米，梁厚為6-500微米。