[發明專利]梳齒電容式雙軸加速度計

無效

• 申請號: 200910116228.6
• 申請日: 2009-02-23
• 公開（公告）號: CN101504426A
• 公開（公告）日: 2009-08-12
• 發明（設計）人: 鮑路路;孔德義;李莊;江儒龍;林丙濤;郭攀;朱榮華;熊劍平;趙貴;徐艷華;陳池來;程玉鵬
• 申請（專利權）人: 中國科學院合肥物質科學研究院
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125;B81B7/02;B81C5/00
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司
• 代理人: 余成俊

1.梳齒電容式雙軸加速度計，其特征在于：包括有基片，基片上有形狀為中心對稱的敏感質量塊，所述敏感質量塊的四個周邊上分別安裝有可拆卸的固定梳齒，所述固定梳齒與敏感質量塊的對應周邊平行，彼此沿中心對稱，所述敏感質量塊的每個周邊與對應的固定梳齒之間還有多組可動梳齒，所述每個可動梳齒與對應的敏感質量塊周邊平行，并且沿著垂直于敏感質量塊邊線的方向連接在敏感質量塊上；所述敏感質量塊的四個邊角處還分別連接有四個支撐架，所述四個支撐架沿敏感質量塊中心對稱，其另一端連接至基片上；所述每個支撐架包括兩個正交放置的蛇形支撐梁，所述兩個蛇形支撐梁的一端分別連接至敏感質量塊，另一端連接至基片上，所述基片上有通過MEMS鍵合工藝制作的錨點，所述蛇形支撐梁的另一端連接至基片的錨點上。

2.根據權利要求1所述的梳齒電容式雙軸加速度計，其特征在于：所述可動梳齒到其相鄰的兩邊的固定梳齒的距離比為1∶10。

3.根據權利要求1所述的梳齒電容式雙軸加速度計，其特征在于：所述基片的材料為硼硅玻璃，所述敏感質量塊、可動梳齒、固定梳齒、支撐梁的材料均為重摻雜的導體硅圓片，該梳齒電容式雙軸加速度計通過MEMS工藝制作而成。