[發明專利]等離子體電流硬件補償裝置

無效

• 申請號: 200910116117.5
• 申請日: 2009-01-22
• 公開（公告）號: CN101488372A
• 公開（公告）日: 2009-07-22
• 發明（設計）人: 杜曉英;季振山;沈飆;王勇
• 申請（專利權）人: 中國科學院等離子體物理研究所
• 主分類號: G21B1/11
• 分類號: G21B1/11;H05H1/24
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司
• 代理人: 余成俊

1.等離子體電流硬件補償裝置，其特征在于：等離子體電流信號IP和12個線 圈電流數據信號輸入到13路比例放大電路輸入端，13路比例放大電路的輸 出端連接到加減法器的輸入端，加減法器的輸出端分成三路，分別通過三個 隔離輸出電路連接到PCS(Plasma?control?system)等離子體控制系統、數 據采集系統、保護系統；

所述的13路比例放大電路，是由13個相同的比例放大電路并列構成的，第 一個比例放大電路結構為：包括運算放大器U1，輸入信號經過電阻R1輸入運 算放大器U1反相輸入端，運算放大器U1的同相輸入端和運算放大器U1的+Vcc 間連接有電容C1，運算放大器U1的-Vee經過電容C2后接地，運算放大器U1 的反相輸入端和輸出端間連接有并聯電路，并聯電路的一個支路為電容C3，另 一個支路為調節電阻RP1與電阻R1_1、R1_2、R1_3、開關S1-S3構成的選擇電 路串聯構成的；其余的比例放大電路按元件編號以此類推；

所述的加減法器，其結構為：包括運算放大器U14，運算放大器U14的反 相輸入端通過電阻R14-R26分別連接到13路比例放大電路的輸出端，運算放大 器U14的同相輸入端通過電阻R27-R39分別連接到13路比例放大電路的輸出 端，運算放大器U14的同相輸入端與運算放大器U14的-Vee間連接有電容C41 和電阻R39A的串聯電路，運算放大器U14的+Vcc經過電容C40后接地，運算 放大器U14的反相輸入端與輸出端間連接有電阻R40；

所述的隔離輸出電路，共有三個，且結構完全相同，第一個隔離輸出電路結 構為：包括B0122芯片U15、運算放大器U16、U17，加減法器的輸出端的一個 支路連接到B0122芯片U15的輸入端Vin，B0122芯片U15外接有電容C42-45， B0122芯片U15的輸出端Vout經過電阻R41、R42連接到運算放大器U16的同 相輸入端，運算放大器U16的同相輸入端與運算放大器U16的-Vcc間連接有電 容C47、C49，運算放大器U16的同相輸入端與運算放大器U16的輸出端間連接 有電容C46，運算放大器U16的+Vcc經過電容C48后接地，運算放大器U16的 輸出端連接到運算放大器U17的同相輸入端，運算放大器U17的+Vcc經過電容 C50后接地，運算放大器U17的-Vcc經過電容C51后接地，運算放大器U17的 輸出端連接到外圍的PCS(Plasma?control?system)等離子體控制系統；其余 的隔離輸出電路按元件編號以此類推。