[發明專利]納米粉末的制造方法

有效

• 申請號: 200910112846.3
• 申請日: 2009-11-25
• 公開（公告）號: CN101722310A
• 公開（公告）日: 2010-06-09
• 發明（設計）人: 謝宗雍;羅俊杰;黃胤諴;邱創弘;江美昭;李懷安;莫啟能
• 申請（專利權）人: 福建華映顯示科技有限公司;中華映管股份有限公司
• 主分類號: B22F9/04
• 分類號: B22F9/04;C22C29/12
• 代理公司: 福州市鼓樓區京華專利事務所(普通合伙) 35212
• 代理人: 翁素華

【技術領域】

本發明是有關于一種納米粉末的制造方法，且特別是有關于一種可制備任意化學組成(chemical?composition)的納米粉末的制造方法。

【背景技術】

大面積面板是當今顯示器產業發展的趨勢，但大面積面板需要更大的鍍膜與黃光微影制程平臺，維持良品率的困難度也相對增高。為克服上述困難，有研究者提出噴印技術，亦即，將導電漿體噴印在適當位置后，再對噴印圖案(Printed?pattern)進行適當處理而形成導電薄膜。

噴印技術可用來制作平面顯示器的薄膜晶體管的通道層或透明畫素電極。特別是，噴印技術具有可省略黃光微影制程、可配合計算機輔助繪圖設計(Computer?aided?drawing?design，CAD)程控來制作各種形狀的圖案、無基板高度差之影響、可重工(Rework)、制程彈性大等優點，發展潛力相當大。然而，噴印漿體的開發為噴印技術的關鍵。

圖1為傳統噴印技術的步驟流程的示意圖。請參照圖1，步驟S101～S103為噴印漿料的制備流程，步驟S104～S107為利用噴印漿料制作導電薄膜的流程。

首先，如步驟S101～S103所示，噴印漿料的制備通常采用化學反應法，亦即，將含有氧化鋅(ZnO)的前驅物及界面活性劑所組成的溶凝膠溶液(Sol-gel?solution)與去離子水混合后，即可得到含氧化鋅金屬鹽的水溶液(即噴印漿料)。上述前驅物可為醋酸鋅(Zn(CH3COO)2·2H2O，zinc?acetate)或硝酸鋅(Zn(NO3)2.6H2O，zinc?nitrate)。接著，如步驟S104～S107所示，將噴印漿料噴印或旋涂到基板上后，再經適當的熱處理(預烘烤、后烘烤等)而形成氧化鋅導電薄膜。

此外，也可以利用化學浴鍍著法(Chemical?Bath?Deposition，CBD)來形成導電薄膜，亦即，將基板沉浸于含有適當比率的硝酸鋅與二甲基胺硼烷(Dimethylamine?borane)之鍍液(溫度約60℃)中。導電薄膜的厚度可調整前驅物的濃度而控制。之后，再經約100℃的烘烤即可得到氧化鋅導電薄膜。

上述化學反應法的制程簡易，且已經有相當多的文獻報導。然而，后續熱處理的溫度往往在數百攝氏度以上，不利軟板之制程應用。值得注意的是，上述化學反應法較適合制作僅含有氧化鋅的導電薄膜。當欲制備摻雜其它元素(如銦、鋁、鎂等)之氧化鋅薄膜，或多元組成的氧化鋅薄膜(如InGaZnO(IGZO))時，因不同成分的氧化還原反應速率不同，使得難以準確控制最終產物的化學組成，其應用也因而受限。

【發明內容】

本發明要解決的技術問題，在于提供一種納米粉末的制造方法，可制備任意化學組成的納米粉末。

基于上述，本發明是這樣實現的：一種納米粉末的制造方法。首先，提供混合物，此混合物至少包括第一材料與第二材料。接著，燒結此混合物，以得到單一相合金體。繼之，預粉碎此單一相合金體，以得到待研磨粉體。之后，將化學分散劑加入到待研磨粉體中并進行研磨，以得到納米粉末。

所述第一材料為氧化鋅，而該第二材料包括氧化銦、氧化鋁或氧化鎂；或者是，所述第一材料為氧化鋇，而所述第二材料為氧化鈦。

所述混合物還包括一第三材料；所述第一材料為氧化鋅，所述第二材料為氧化銦，所述第三材料為氧化鎵。所述氧化鋅、該氧化銦與該氧化鎵的組成摩爾比例為2∶1∶1。

所述燒結該混合物的溫度介于900℃～1,500℃；所述燒結該混合物的時間介于4小時～8小時。

所述預粉碎所述單一相合金體的步驟包括：對該單一相合金體進行機械研磨，該機械研磨的轉速介于2,400～3,600rpm，該機械研磨的時間為8小時～12小時。

所述化學分散劑包括：聚甲基丙烯酸鈉、或丙烯酰氧乙基聚丙烯胺。

在所述待研磨粉體與所述化學分散劑的總重量中，該化學分散劑的重量百分比為0.1wt％～5wt％。

還包括一將去離子水加入到所述待研磨粉體中的步驟，以形成一漿體。還包括一將酸堿值調整試劑加入到該待研磨粉體中的步驟，使該酸堿值介于8～9。在所述待研磨粉體、所述化學分散劑、所述去離子水與所述酸堿值調整試劑的總重量中，該待研磨粉體的重量百分比為15wt％～35wt％。

本發明的優點在于：本發明的納米粉末的制造方法結合燒結制程、化學分散劑與機械研磨，所制得的納米粉末(包括漿體)具有化學組成多樣化、粒徑分布窄、制程容易、易于大量產量等優點，且納米粉末的后續應用相當容易。

【附圖說明】