[發明專利]一種鋁摻氧化鋅透明導電薄膜的退火方法無效
| 申請號： | 200910112270.0 | 申請日： | 2009-07-29 |
| 公開（公告）號： | CN101985740A | 公開（公告）日： | 2011-03-16 |
| 發明（設計）人： | 曹永革;鄧種華;黃常剛 | 申請（專利權）人： | 中國科學院福建物質結構研究所 |
| 主分類號： | C23C14/56 | 分類號： | C23C14/56;C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 350002 *** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氧化鋅 透明 導電 薄膜 退火 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種鋁摻氧化鋅透明導電薄膜的退火方法，其特征在于：沉積好的AZO透明導電薄膜置于退火爐中在真空或一定的氣氛、溫度、時間下退火。
2.權利要求1所述的鋁摻氧化鋅透明導電薄膜的退火方法，其特征在于：所使用的退火爐能夠實現真空退火、常用或正壓退火；退火爐的加熱方式可以為電阻加熱、激光加熱、微波加熱、中高頻加熱、電火花或電弧加熱等加熱方式，以達到所需的退火溫度
3.權利要求1所述的鋁摻氧化鋅透明導電薄膜的退火方法，其特征在于：該退火方法采用真空退火或氣氛退火，退火氣氛為惰性氣體、還原性氣體及它們的混合氣體，退火氣壓為10-4Pa～105Pa。
4.權利要求1所述的鋁摻氧化鋅透明導電薄膜的退火方法，其特征在于退火溫度為100℃～650℃，并根據不同加熱方式和退火溫度，退火時間為5s～25h。
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