[發明專利]基于MEMS的平面振動雙螺旋壓電換能器無效
| 申請號： | 200910111640.9 | 申請日： | 2009-04-30 |
| 公開（公告）號： | CN101546965A | 公開（公告）日： | 2009-09-30 |
| 發明（設計）人： | 董濤;楊朝初;牛群峰;王莉;魏孔軍;張玉龍 | 申請（專利權）人： | 廈門大學 |
| 主分類號： | H02N2/00 | 分類號： | H02N2/00 |
| 代理公司： | 廈門南強之路專利事務所 | 代理人： | 馬應森 |
| 地址： | 361005福*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 mems 平面 振動 雙螺旋 壓電 換能器 | ||
【權利要求書】：
1.基于MEMS的平面振動雙螺旋壓電換能器，其特征在于設有：
外殼；
兩組阿基米德螺旋壓電彈簧，在振動源的激勵下，兩組阿基米德螺旋壓電彈簧作平面內振動；
PZT壓電薄膜，PZT壓電薄膜設在兩組阿基米德螺旋壓電彈簧上，PZT壓電薄膜用于收集兩組阿基米德螺旋壓電彈簧上因壓電效應產生的電荷；
兩組大質量塊，兩組大質量塊分別連接于兩組阿基米德螺旋壓電彈簧的尾部，兩組大質量塊用于降低雙螺旋壓電換能器較高的固有頻率，以與環境中低頻振動源相匹配，實現在諧振狀態下對低頻振動環境的能量采集和轉換；
兩對電極，兩對電極用于換能器的電極極化和傳感，兩對電極的工作模式為d31壓電模式；
一對接線端，每個接線端部當中的第一端與正負工作電極相連，在外殼內，這一對接線端部當中的每一個的第二端部設置在所述外殼之外。
2.如權利要求1所述的基于MEMS的平面振動雙螺旋壓電換能器，其特征在于所述外殼設有頂部硅結構、中間硅結構和底部絕熱玻璃蓋板；頂部硅結構與中間硅結構由平敷在中間硅結構表面的一層金屬膜連接，中間硅結構的另一表面與底部絕熱玻璃蓋板鍵合。
3.如權利要求1所述的基于MEMS的平面振動雙螺旋壓電換能器，其特征在于所述質量塊的橫截面為矩形。
4.如權利要求1所述的基于MEMS的平面振動雙螺旋壓電換能器，其特征在于所述接線端為硅柱。
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