[發(fā)明專(zhuān)利]振膜及應(yīng)用該振膜的硅電容麥克風(fēng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910109824.1
• 申請(qǐng)日: 2009-11-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102075834A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顏毅林
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 瑞聲聲學(xué)科技(深圳)有限公司;瑞聲聲學(xué)科技(常州)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H04R7/20
• 分類(lèi)號(hào): H04R7/20;H04R19/04
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種電容麥克風(fēng)，尤其涉及一種微機(jī)電麥克風(fēng)。

背景技術(shù)

隨著無(wú)線通訊的發(fā)展，全球移動(dòng)電話用戶越來(lái)越多，用戶對(duì)移動(dòng)電話的要求已不僅滿足于通話，而且要能夠提供高質(zhì)量的通話效果，尤其是目前移動(dòng)多媒體技術(shù)的發(fā)展，移動(dòng)電話的通話質(zhì)量更顯重要，移動(dòng)電話的麥克風(fēng)作為移動(dòng)電話的語(yǔ)音拾取裝置，其設(shè)計(jì)好壞直接影響通話質(zhì)量。

而目前應(yīng)用較多且性能較好的麥克風(fēng)是微電機(jī)系統(tǒng)麥克風(fēng)(Micro-Electro-Mechanical-System?Microphone，簡(jiǎn)稱(chēng)MEMS)，相關(guān)技術(shù)中，寄生電容較大，影響麥克風(fēng)的性能。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明需解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種可以降低寄生電容的振膜和應(yīng)用該振膜的硅電容麥克風(fēng)。

根據(jù)上述需解決的技術(shù)問(wèn)題，設(shè)計(jì)了一種振膜，該振膜包括振動(dòng)部、自振動(dòng)部外周突出的若干支撐部、分離部，該分離部設(shè)置在相鄰的支撐部之間且該分離部與振動(dòng)部之間有縫隙。

優(yōu)選的，所述振膜為圓形，支撐部是自振動(dòng)部外圓周突出的若干橫梁，分離部設(shè)置在相鄰橫梁之間且分離部的形狀為扇形。

優(yōu)選的，所述橫梁將圓周等分。

優(yōu)選的，所述橫梁的個(gè)數(shù)為四個(gè)且將圓周等分，分離部的個(gè)數(shù)為四個(gè)且其關(guān)于振膜的圓心對(duì)稱(chēng)。

優(yōu)選的，所述分離部的弧度相等，且分離部與振膜同圓心。

還設(shè)計(jì)了一種硅電容麥克風(fēng)，包括基底、背板和振膜，該振膜包括振動(dòng)部、自振動(dòng)部外周突出的若干支撐部、分離部，該分離部設(shè)置在相鄰的支撐部之間且該分離部與振動(dòng)部之間有縫隙。

優(yōu)選的，所述振膜為圓形，支撐部是自振動(dòng)部外圓周突出的若干橫梁，分離部設(shè)置在相鄰橫梁之間且分離部的形狀為扇形。

優(yōu)選的，所述橫梁將圓周等分。

優(yōu)選的，所述橫梁的個(gè)數(shù)為四個(gè)且將圓周等分，分離部的個(gè)數(shù)為四個(gè)且其關(guān)于振膜的圓心對(duì)稱(chēng)。

優(yōu)選的，所述分離部的弧度相等，且分離部與振膜同圓心。

本發(fā)明的有益效果在于：由于振動(dòng)部和分離部之間有空隙，使得振動(dòng)部和分離部實(shí)現(xiàn)電學(xué)隔離，有效降低寄生電容。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明提供的振膜的平面示意圖；

圖2是本發(fā)明提供的一個(gè)實(shí)施例的剖視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。

本發(fā)明提供的硅電容麥克風(fēng)主要用于手機(jī)等電子設(shè)備中，用于接收聲音。振膜用于該硅電容麥克風(fēng)中。

參見(jiàn)圖1，本發(fā)明提供的振膜1，包括振動(dòng)部11、自振動(dòng)部11外周突出的若干支撐部12、分離部13，該分離部13設(shè)置在相鄰的支撐部12之間且該分離部13與振動(dòng)部11之間有縫隙4。由于該縫隙4的存在，降振膜1分成兩個(gè)獨(dú)立的部分，使得振動(dòng)部11和分離部13電學(xué)隔離，有效降低了寄生電容。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，振膜1為圓形，支撐部12是自振動(dòng)部11外圓周突出的若干橫梁12，分離部13設(shè)置在相鄰橫梁12之間，分離部11的形狀為扇形。橫梁12將圓周等分。

圖1中，橫梁12的個(gè)數(shù)為四個(gè)，將振膜等分，分離部13的個(gè)數(shù)為四個(gè)，關(guān)于振膜1的圓心對(duì)稱(chēng)。分離部13的弧度相等，且分離部13與振膜1同圓心。

本發(fā)明還提供了一種硅電容麥克風(fēng)，如圖2，包括基底3、背板2和振膜1。振膜1的特征如上所述。

以上所述的僅是本發(fā)明的一種實(shí)施方式，在此應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出改進(jìn)，但這些均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。