[發明專利]基于MEMS微鏡陣列的微型光譜儀

無效

• 申請號: 200910103679.6
• 申請日: 2009-04-24
• 公開（公告）號: CN101539457A
• 公開（公告）日: 2009-09-23
• 發明（設計）人: 溫志渝;羅彪;溫中泉
• 申請（專利權）人: 重慶大學
• 主分類號: G01J3/28
• 分類號: G01J3/28
• 代理公司: 重慶華科專利事務所
• 代理人: 康海燕

1、基于MEMS微鏡陣列的微型光譜儀，其特征在于，它包括分光成像、MEMS掃描微鏡陣列、光譜信號獲取與處理三部分；其中，

所述分光成像部分包括狹縫和平場凹面光柵，狹縫位于平場凹面光柵的正前方，經過狹縫的光束入射到平場凹面光柵上，所述狹縫的寬度根據光譜的波長范圍及分辨率進行調整確定；所述平場凹面光柵進行光譜的分光成像，通過選擇具有不同工作波段的平場凹面光柵達到擴展光譜范圍的要求；

所述MEMS掃描微鏡陣列部分包括微鏡陣列器件和微鏡控制電路模塊，所述MEMS微鏡陣列器件布置在平場凹面光柵的像面位置，并由微鏡控制電路模塊控制依次改變每個微鏡單元的狀態，對各個不同波長的光譜像元進行依次反射掃描；

所述光譜信號獲取與處理部分由一個單管探測器和光譜信號采集與處理電路組成，所述單管探測器布置在MEMS微鏡陣列器件的公共光掃描空間；光譜信號采集與處理電路在得到由微鏡控制電路模塊發出反射掃描微鏡的位置信號、掃描次數信號以及同一時間段內單管探測器本身響應的光強信號之后，進行連續光譜信號的識別，經過處理后得到準確的連續光譜信息。