[發明專利]一種適用于圖像傳感器像素陣列的光學鄰近校正方法

無效

• 申請號: 200910102203.0
• 申請日: 2009-09-03
• 公開（公告）號: CN101644890A
• 公開（公告）日: 2010-02-10
• 發明（設計）人: 林斌;嚴曉浪;趙立新;史崢;李杰;孟慶;薛江
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G03F1/14
• 分類號: G03F1/14;G06F17/50;H01L21/00;H04N5/335
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司
• 代理人: 韓介梅

1.一種適用于圖像傳感器像素陣列的光學鄰近校正方法，其特征是包括參數初始化，版圖層次化處理，對稱圖形對稱切分，對稱圖形對稱化校正，具體步驟如下：

1)參數初始化：?

設定光學鄰近效應校正的仿真模型，

光刻掩模圖形，GDSII輸入，

光刻掩膜圖形的特征尺寸D，

光刻機的基本參數，λ，NA，σ；其中：λ是光源的波長，NA是光學系統的數值孔徑，σ是照明的相干系數；

2)通過光學仿真模型參數和版圖圖形特點確定圖形相互影響距離；

3)版圖層次化處理：

將版圖打平至只含最小單元，將最小版圖單元的所有實例的圖形環境進行比較歸類，環境相同的實例歸為同一個版圖單元，環境不同的實例歸為新的版圖單元；

4)對上述3)中得到的所有版圖單元做光學鄰近校正：

a)將單元所含圖形，向外擴展一段距離，該距離大小為圖形相互影響距離，提取范圍內所有圖形得到等待光學鄰近校正的圖形集合；

b)對a)中得到的圖形集合的邊進行切分，對稱圖形各部分相應的邊按照相同的規則切分，保證對稱圖形的切分結果仍然對稱；

c)對b)中得到的切分后的多邊形進行OPC迭代運算，對其中的對稱圖形采用對稱性同步迭代運算：

將對稱圖形分為完全相同的N個部分，N為可以得到的完全相同部分的最大數量，標記序號為1，2，3，……N，不對稱圖形視為N＝1的對稱圖形；

I)對序號為1的部分的某段線段計算光強，得到該線段偏移量，將該偏移量映射到其余N-1個部分的對應線段處，得到全部N段該對稱位置線段的偏移量；

II)對其余線段同樣采用I)中的方法得到其偏移量；

d)光學鄰近效應校正的校正終止條件：

在每次光學鄰近效應校正迭代后按式(1)計算校正結果的精確度，?

式中Cost是代價函數，EPE為線段位置誤差函數，x為每一段上的光強評估點位置，D表示設計目標的圖形輪廓，W表示實際仿真的圖形輪廓，求和對輸入掩模圖形上的所有光強評估點進行，如果校正精度不滿足預定義的要求值Cost₀，則按步驟c)繼續迭代，直到滿足精度要求終止迭代，或達到預定的迭代次數終止迭代；

e)移除光學鄰近校正結果中的環境圖形，即a)中向外擴展部分的圖形；

f)將e)中得到的該單元的光學鄰近校正結果映射回對應的實例中，得到整個版圖的光學鄰近校正結果。

2.根據權利要求1所述的適用于圖像傳感器像素陣列的光學鄰近校正方法，其特征是所說的圖形相互影響距離為光學仿真模型的半徑；或為5倍的光學仿真模型的半徑。?