[發(fā)明專利]有機(jī)玻璃鍍鎳的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910101263.0
• 申請日: 2009-07-24
• 公開（公告）號(hào): CN101638768A
• 公開（公告）日: 2010-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 錢苗根;錢良;徐治偉
• 申請（專利權(quán)）人: 湖州金泰科技股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/02
• 分類號(hào): C23C14/02;C23C14/20;C23C14/35
• 代理公司: 湖州金衛(wèi)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 紀(jì) 元;趙衛(wèi)康

1.有機(jī)玻璃鍍鎳的方法，在真空條件下對有機(jī)玻璃鍍鎳，其特 征在于：它包括一在真空鍍鎳前對有機(jī)玻璃表面的改性步驟，所述的 改性步驟是將有機(jī)玻璃置于真空室內(nèi)，用離子轟擊有機(jī)玻璃表面；

所述的對有機(jī)玻璃鍍鎳是先將經(jīng)改性步驟得到的表面改性有機(jī) 玻璃于磁控濺射-真空蒸鍍復(fù)合鍍膜機(jī)的真空室中進(jìn)行磁控濺射鍍 鎳，然后加熱有機(jī)玻璃表面溫度為50℃～60℃并采用真空蒸鍍的方 法繼續(xù)鍍鎳；

所述改性步驟前，將有機(jī)玻璃放入洗凈溶液中浸泡，然后分別 用自來水和純凈水沖洗干凈，再烘干。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)玻璃鍍鎳的方法，其特征在于： 所述真空室的鎳靶材的厚度為5mm～7mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)玻璃鍍鎳的方法，其特征在于： 所述鎳靶材的長為700mm～1000mm，寬為150mm～300mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)玻璃鍍鎳的方法，其特征在于： 所述真空室中的磁體為釹鐵硼強(qiáng)磁體和鍶鐵氧體，所述真空磁控濺射 鍍鎳室中的水冷方式采用間接水冷卻方式，水冷背板為鈦板。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)玻璃鍍鎳的方法，其特征在于： 所述真空室中的磁路布局為：中間安裝連接有條狀的釹鐵硼強(qiáng)磁體， 磁場強(qiáng)度為500Gs～600Gs；四周安裝連接有環(huán)狀的鍶鐵氧體，磁場 強(qiáng)度為200Gs～350Gs。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)玻璃鍍鎳的方法，其特征在于： 所述的用離子轟擊有機(jī)玻璃表面是在真空室內(nèi)安裝一鋁棒，將真空室 抽真空至4×10^-2Pa以下，再充入氬氣至2.1Pa～2.3Pa，開啟轟擊 電源轟擊有機(jī)玻璃表面2～4min。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)玻璃鍍鎳的方法，其特征在于： 所述的用離子轟擊有機(jī)玻璃表面是在真空室內(nèi)安裝一鋁棒，將真空室 抽真空至4～6Pa，直接開啟電源轟擊有機(jī)玻璃表面5～6min。