[發明專利]浮法在線生產透明導電膜玻璃的方法

無效

• 申請號: 200910101048.0
• 申請日: 2009-07-30
• 公開（公告）號: CN101618952A
• 公開（公告）日: 2010-01-06
• 發明（設計）人: 劉起英;汪建勛;趙明;趙年偉;曹涯雁;劉軍波;孔繁華;魏德法;葛言凱;彭春佳;蔡永秀;葉志會;肖模龍
• 申請（專利權）人: 杭州藍星新材料技術有限公司;威海藍星玻璃股份有限公司
• 主分類號: C03C17/34
• 分類號: C03C17/34;C03B18/02
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司
• 代理人: 韓介梅

1.浮法在線生產透明導電膜玻璃的方法，其特征在于包括以下步驟：

1)在浮法玻璃生產線錫槽中，于玻璃帶上方安裝鍍屏蔽層的鍍膜反應設備，將乙硼烷、硅烷、乙烯、二氧化碳，用惰性氣體稀釋至體積百分比濃度分別為：乙硼烷1～15％、硅烷10～30％，乙烯90～100％，二氧化碳70～100％，利用化學汽相沉積法，在溫度為620～700℃的熱玻璃表面分別沉積兩層屏蔽層，其中，沉積第一層屏蔽層的前質體混合氣體的體積比為乙硼烷∶硅烷∶乙烯∶二氧化碳＝0.0002～0.010∶1∶3.5～6.0∶3.5～6.0，沉積第二層屏蔽層的前質體混合氣體的體積比為乙硼烷∶硅烷∶乙烯∶二氧化碳＝0.0006～0.020∶1∶3.5～6.0∶3.5～8.0；

2)在浮法玻璃生產線退火窯A₀鍍膜區的550℃～610℃溫度區內，利用兩臺線性的多進多排的浮法玻璃在線鍍膜裝置，在鍍有上述兩層屏蔽層的玻璃帶上表面沉積兩層導電膜層，導電膜前質體混合氣體各成分的摩爾百分數分別為：錫源0.2～3.5％、摻雜劑0.2～3.0％、反應調節劑0.25～3.0％、霧度調節劑0.5～13％、載氣2～8％、其余為稀釋氣體；

上述的錫源為三氟乙酸-丁基二氯化錫酯、二丁基丁烯二酸錫、二乙酸二丁基錫、四氯化錫、三氯一丁基錫、四甲基錫或二甲基二氯化錫；所說的霧度調節劑是四氯化錫、氧氣、水、乙醇、丙醇、丁醇或甲醇；導電膜前質體混合氣體中的稀釋氣體為空氣、氮氣、氦氣或氬氣，導電膜前質體混合氣體中的載氣為空氣、氮氣、氦氣或氬氣；所說的摻雜劑是氟源、磷源和銻源的混合物，氟源和磷源選自三氟乙酸、三氟化磷、五氟化磷、三氟甲苯、氟化氫、六氟丙烯或三氟甲溴，銻源選自三氯化銻或三溴化銻；所說的反應調節劑為氧氣或水。

2.按權利要求1所述的浮法在線生產透明導電膜玻璃的方法，其特征是第一層屏蔽層的厚度為30～40nm，折射率為1.6～1.65，第二層屏蔽層的厚度為40～60nm，折射率為1.65～1.80。

3.按權利要求1所述的浮法在線生產透明導電膜玻璃的方法，其特征是兩層導電膜層總厚度為450～800nm。

4.按權利要求1所述的浮法在線生產透明導電膜玻璃的方法，其特征是步驟1)中所用的惰性氣體為氮氣、氦氣或氬氣。