[發明專利]非球面非零檢測中非零補償鏡精密干涉定位調整裝置及方法

有效

• 申請號: 200910099785.1
• 申請日: 2009-06-15
• 公開（公告）號: CN101592478A
• 公開（公告）日: 2009-12-02
• 發明（設計）人: 楊甬英;劉東;田超;卓永模
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G02B27/00
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司
• 代理人: 張法高

1.一種非球面非零檢測中非零補償鏡精密干涉定位調整裝置，其特征在于激光器(S1)經準直擴束系統(S2)產生平行光，經過分光鏡(S3)射入由非零補償鏡(S4)、消球差補償鏡(S5)組成的組合消球差鏡組，通過移動安裝非球面(S6)的精密移導系統(S11)，使平行光經組合消球差鏡組后的焦點與被測非球面(S6)的頂點重合，經頂點后反射的光束與干涉定位參考面(S7)干涉形成菲佐干涉條紋，經成像透鏡(S8)在探測器(S9)上得到干涉條紋，該干涉定位參考面為消球差補償鏡組的最后一面，判斷上述重合的具體方法為：當焦點與頂點重合時，能觀察到條紋為直條紋，當焦點與頂點偏離時，條紋會彎曲；在確定調整非球面已位于上述焦點與頂點重合的位置時，通過分離消球差補償鏡組，然后移去消球差補償鏡組，根據光學結構參數，利用一可達微米量級定位精度的精密導軌，移動被測非球面至與非零補償鏡相距正確位置，該位置滿足從非球面返回的光束再經非零補償鏡后具有最佳的條紋密度，然后可以進行光線追跡和優化迭代非球面的計算；所述的組合消球差鏡組采用大球差非零補償鏡與消球差補償鏡組組合和分離的機械結構，兩者之間的結構固緊時必須通過定位結構達到所有鏡片的光軸同軸，檢測時兩者之間的結構通過旋開固緊元件而分離。

2.根據權利要求1所述的一種非球面非零檢測中非零補償鏡精密干涉定位調整裝置，其特征在于所述的組合消球差鏡組包括大球差非零補償鏡和一組消球差補償鏡組，消球差補償鏡組是多片透鏡組成。

3.一種使用如權利要求1所述裝置的非球面非零檢測中非零補償鏡精密干涉定位調整方法，其特征在于，根據不同的非球面參數設計非零位補償鏡，設計非零位補償鏡與消球差補償鏡系統，兩者結合為組合消球差鏡組，建立實現精密干涉定位的菲佐型干涉系統，調整被測非球面的位置，通過菲佐型精密干涉定位系統觀察干涉條紋形狀的變化，移動安裝非球面的精密移導系統來判斷調整使組合消球差鏡組的焦點位于被測非球面的頂點，通過觀察干涉條紋確定平行光通過組合消球差鏡組的焦點位于被測非球面的頂點時，再分離移去消球差補償鏡組，根據光學結構參數利用一可達微米量級定位精度的精密導軌，移動被測非球面與非零補償鏡至檢測要求所需的正確位置，然后可以進行光線追跡和優化迭代非球面的計算工作。