[發明專利]利用超聲輻射力拾取、平移固體壁面上微機械構件的方法

無效

• 申請號: 200910099760.1
• 申請日: 2009-06-22
• 公開（公告）號: CN101585509A
• 公開（公告）日: 2009-11-25
• 發明（設計）人: 范宗尉;楊克己
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: B81C5/00
• 分類號: B81C5/00
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司
• 代理人: 林懷禹

1.一種利用超聲輻射力拾取、平移固體壁面上微機械構件的方法，其特征 在于：應用兩個超聲波換能器的輻射聲場以及固體壁面對這兩個超聲波換能器 輻射聲場的反射聲場，沿水平和豎直方向合成超聲輻射力場，在豎直方向輻射 力作用下微構件被拾取脫離固體壁面，通過調節二路超聲波的相對相位改變水 平輻射力場使得微構件在水平方向直線平移，微構件直線移動的方向及移動距 離由相位調節量的正負號與絕對值大小控制，二個超聲波換能器由超聲波信號 發生器提供能量，非接觸地對微構件進行拾取與直線平移操縱。

2.一種利用超聲輻射力拾取、平移固體壁面上微機械構件的方法，其特征 在于：應用三個超聲波換能器的輻射聲場以及固體壁面對這兩個超聲波換能器 輻射聲場的反射聲場，沿水平和豎直方向合成超聲輻射力場，在豎直方向輻射 力作用下微構件被拾取脫離固體壁面，通過調節三路超聲波的相對相位改變水 平輻射力場使得微構件在水平面內平移，微構件水平移動的方向及移動距離由 相位調節量的正負號與絕對值大小控制，三個超聲波換能器由超聲波信號發生 器提供能量，非接觸地對微構件進行拾取與平面平移操縱。