[發(fā)明專利]玻璃材料高深寬比微結(jié)構(gòu)二次約束流動(dòng)刻蝕方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200910097056.2 | 申請(qǐng)日： | 2009-03-30 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101531466A | 公開(kāi)（公告）日： | 2009-09-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 謝海波;鄭毅;傅新;楊華勇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 浙江大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | C03C15/00 | 分類號(hào)： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 | 代理人： | 林懷禹 |
| 地址： | 310027浙*** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 玻璃 材料 高深 微結(jié)構(gòu) 二次 約束 流動(dòng) 刻蝕 方法 | ||
1、一種玻璃材料高深寬比微結(jié)構(gòu)二次約束流動(dòng)刻蝕方法，其特征在于：通過(guò)光刻及濕法刻蝕的工藝在拋光后的平板玻璃上刻蝕出三個(gè)入口的微流道、中間為有效微流道和一個(gè)出口的微流道，再將經(jīng)過(guò)紫外光表面活性處理的PDMS薄膜與帶有微流道的平板玻璃鍵合，形成Glass-PDMS微流控芯片，使用精密注射泵將刻蝕劑注入位于中間的刻蝕劑入口，隔離劑從位于刻蝕劑入口兩側(cè)的隔離劑入口注入，由于隔離劑能約束刻蝕劑流束的寬度和位置，通過(guò)控制三路流體的流量比，能在已經(jīng)成型的平板玻璃微流道中刻蝕出高深寬比的二次微結(jié)構(gòu)。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃材料高深寬比微結(jié)構(gòu)二次約束流動(dòng)刻蝕方法，其特征在于：所述的刻蝕出高深寬比的二次微結(jié)構(gòu)，是通過(guò)控制三路流體的流量比，有效微流道的橫截面會(huì)隨刻蝕的進(jìn)行逐漸變大，導(dǎo)致刻蝕劑會(huì)直接沉在有效微流道中形成的二次微流道，隔離劑起到保護(hù)二次微槽側(cè)壁不被刻蝕的作用，而在平板玻璃的有效微流道內(nèi)部得到高深寬比的二次微結(jié)構(gòu)。
3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃材料高深寬比微結(jié)構(gòu)二次約束流動(dòng)刻蝕方法，其特征在于：所述的高深寬比為1.2～2.5。
4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃材料高深寬比微結(jié)構(gòu)二次約束流動(dòng)刻蝕方法，其特征在于：所述的微流道寬度小于1mm，微流道深度小于0.5mm。
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