[發明專利]熱容氣體激光器

有效

• 申請號: 200910093765.3
• 申請日: 2009-09-28
• 公開（公告）號: CN102035132A
• 公開（公告）日: 2011-04-27
• 發明（設計）人: 萬重怡
• 申請（專利權）人: 中國科學院電子學研究所
• 主分類號: H01S3/22
• 分類號: H01S3/22;H01S3/223;H01S3/225;H01S3/03;H01S3/036;H01S3/041
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 周國城

1.一種熱容氣體激光器，包括激光器腔體、主放電電極、預電離器、激光諧振腔、高壓儲氣瓶組、高氣壓輸出閥門組、氣體噴嘴組、導流板、高壓脈沖放電電源、真空泵、真空閥門，各部件按常規連接；其特征在于：還包括儲氣袋、高氣壓返回閥門組和氣體壓縮機；在激光器腔體一側設有氣體噴嘴組，相對的另一側壁上設有一長條形通孔，長條形通孔與儲氣袋密閉式相連通；在高壓儲氣瓶和激光器腔體之間有兩路連接：一路，激光發射過程中，激光混合氣體從氣體噴嘴組高速噴射出，流經激光器腔體，流入儲氣袋，使氣袋膨脹；另一路，激光發射結束后，由氣體壓縮機將儲氣袋內的激光混合氣體經過高氣壓返回閥門組緩慢地壓縮回高壓儲氣瓶組，供激光器下一次試驗時使用，此時儲氣袋縮小回到原狀態，折疊收藏；折疊收藏時儲氣袋仍通過長條形通孔和激光器腔體維持密閉式相連通。

2.如權利要求1所述的熱容氣體激光器，其特征在于，所述長條形通孔與儲氣袋密閉式相連通，是長條形通孔為一長條形真空密封法蘭開口，儲氣袋是一個柔性的可折疊的密封袋，有一個長條形真空密封法蘭開口，兩法蘭開口相互密封對接后連通。

3.如權利要求1所述的熱容氣體激光器，其特征在于，所述激光混合氣體是二氧化碳激光混合氣體、一氧化碳激光混合氣體或準分子激光混合氣體其中之一。

4.如權利要求1所述的熱容氣體激光器，其特征在于，還包括一氣體清潔還原裝置，位于氣體壓縮機輸入口與激光器腔體相連的大氣壓/真空管路中，以將激光氣體的成份還原成純凈的狀態。

5.如權利要求4所述的熱容氣體激光器，其特征在于，所述的氣體清潔還原裝置是一個容器，內含有除氧劑。

6.如權利要求5所述的熱容氣體激光器，其特征在于，所述的氣體清潔還原裝置容器中含有鉑催化劑、或含有氧化錫和氧化錳催化劑。

7.如權利要求1所述的熱容氣體激光器，其特征在于，還包括一熱交換器，位于氣體壓縮機輸入口與激光器腔體相連的大氣壓/真空管路中，以使激光混合氣體冷卻。

8.如權利要求7所述的熱容氣體激光器，其特征在于，所述的熱交換器為水冷式熱交換器。