[發明專利]一種用于陶瓷-金屬結構部件凈化的方法無效

申請號：	200910093273.4	申請日：	2009-09-16
公開（公告）號：	CN102019282A	公開（公告）日：	2011-04-20
發明（設計）人：	趙世柯;肖東梅;俞世吉;樊會明	申請（專利權）人：	中國科學院電子學研究所
主分類號：	B08B3/12	分類號：	B08B3/12
代理公司：	中科專利商標代理有限責任公司 11021	代理人：	周長興
地址：	100080 ***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種用于陶瓷金屬結構部件凈化方法
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【說明書】：

技術領域

本發明涉及真空電子技術領域，更詳細地說，涉及一種用于陶瓷-金屬結構部件凈化的方法。適用于真空電子器件中陶瓷-金屬結構部件的表面凈化處理。

背景技術

真空電子器件(行波管、速調管、回旋管等)廣泛地用于導航定位、軍事測繪、微波遙感、電子偵察與對抗、數據傳輸等方面，是軍用和民用技術領域不可替代的重要元器件[參考文獻：廖復疆主編，《真空電子技術》(第二版)-信息化武器裝備的心臟，國防工業出版社，北京(2008)]。

真空電子器件的主體是耐高壓的陶瓷-金屬結構，陶瓷不僅起到結構支撐的作用，同時還要具有高壓絕緣的功能。由于真空電子器件的制造工序繁多，已經經過凈化處理的部件在后續的操作工序中很容易發生二次污染，如：汗漬、指印、金屬劃痕、氧化層等。此外，隨著對陶瓷-金屬部件結構精度的要求越來越高，一般的封接工藝很難滿足要求，為此經常需要采用二次精修的辦法。二次精修的過程容易給部件帶來加工油脂等有機污染。以上污染在整管裝配前如不去除干凈，將影響高壓電極間的絕緣，嚴重時產生高壓擊穿現象。這也是行波管所有的故障模式中高壓擊穿占的比例(達30％以上)最高的原因之一[參考文獻：A.S.Gilmour，Principles?ofTraveling?Wave?tubes，1994?ARTECHHOUSE，INC.，685?Canton?Street，Norwood，MA?01062]；同時增加真空烘烤過程中的放氣量，使真空性能難以滿足要求，有害氣體的釋放還可能造成陰極中毒，甚至整管失效。

當陶瓷-金屬結構部件受到二次污染后，通常的做法是用丙酮超聲清洗。但去污效果不太理想。另外，由于陶瓷-金屬結構部件含有陶瓷、金屬化層、金屬零件、鍍鎳層及焊料等，不宜采用零件清洗的工藝進行清洗，否則可能導致部件開裂、變形、脫焊等問題。洗凈劑凈化雖然可以避免這些問題，但工藝相對復雜、控制難度較大，更重要的是洗凈劑的殘留物用水難以徹底清除[參考文獻：電子工業生產技術手冊4-電真空器件卷，電子工業生產技術手冊編委會編，國防工業出版社，北京(1990)]，高溫處理后將以殘碳的形式附著在陶瓷上，成為高壓下表面漏電的來源。

發明內容

本發明的目的是提供一種用于陶瓷-金屬結構部件凈化的方法，通過去油、酸溶液清洗、水清洗、脫水、干燥、高溫燒氫等工藝步驟，有效地去除經二次污染的陶瓷-金屬結構部件表面的有機污染物、金屬附著物和可溶性鹽，在不破壞部件的氣密性和結構精度的前提下，改善陶瓷-金屬結構部件的高壓絕緣特性，為提高真空電子器件的可靠性提供技術支持。本發明的工藝方法過程簡單、易行、成本低廉，工藝效果明顯。

為實現上述目的，本發明提供的用于陶瓷-金屬結構部件凈化的方法，主要步驟為：

1)將部件浸沒在盛有丙酮的燒杯中，室溫下超聲清洗，除去表面有機污染；

2)經步驟1去油的部件浸沒在濃度為0.5～5％的酸溶液中，超聲清洗，溶液溫度控制在40～60℃；

3)酸洗后用水沖洗；

4)于去離子水中超聲清洗，水溫控制在40℃以下；

5)放入無水乙醇中超聲清洗，脫水，于55-65℃下干燥；

6)干燥后在650～750℃條件下燒氫，燒氫溫度比陶瓷-金屬結構部件中的釬料熔流點至少低100℃左右，保溫時間10～30分鐘，氫氣露點小于25℃。

本發明的方法中，酸溶液為稀鹽酸溶液。

本發明的方法中，步驟4可以重復操作2～3次。

本發明提出的方法對陶瓷-金屬結構部件進行凈化處理后，部件中金屬零件表面無污漬、無氧化痕跡，瓷件表面為潔凈的瓷白色、無污漬，耐壓顯著改善、裝管測試打火次數明顯減少。

附圖說明

圖1所示為經過處理和未經過處理的電子槍部件上管后打冷高壓時陰極對地之間的漏電情況比較。