[發明專利]一種大口徑成像光子篩及其制作方法

無效

• 申請號: 200910091043.4
• 申請日: 2009-08-20
• 公開（公告）號: CN101630027A
• 公開（公告）日: 2010-01-20
• 發明（設計）人: 朱效立;潘一鳴;謝常青;賈佳;劉明
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G02B5/00
• 分類號: G02B5/00;G02B5/18;G02B27/44
• 代理公司: 北京市德權律師事務所
• 代理人: 王建國

1、一種大口徑成像光子篩，其特征在于：包括透光襯底和鍍在其上的不透光的金屬薄膜，所述不透光的金屬薄膜上隨機分布若干透光小孔。

2、如權利要求1所述的大口徑成像光子篩，其特征在于：所述透光襯底的材料為透光材料，所述透光材料為熔融石英、普通玻璃或有機玻璃，所述透光襯底的直徑大于80mm。

3、如權利要求1所述的大口徑成像光子篩，其特征在于：所述不透光的金屬薄膜的材料為鉻、金、鋁或銅。

4、如權利要求1所述的大口徑成像光子篩，其特征在于：所述隨機分布的透光小孔為平面式透光小孔，其分布在中心半徑為r_n，寬度為w_n的環帶上，所述平面式透光小孔之間不重疊；所述平面式透光小孔的圓心分布在環帶中心半徑r_n上，其中：

r_n²＝2nfλ+n²λ²，n＝1，2，3......，

對應r_n上的平面式透光小孔的直徑為：

d_n＝w_n＝λ/2r_n，其中λ為波長，f為焦距。

5、如權利要求4所述的大口徑成像光子篩，其特征在于：所述環帶包括內部環帶、中間環帶和外部環帶，所述內部環帶、中間環帶和外部環帶的數目各占總環帶數的1/3，其中所述內部環帶和外部環帶上的透光小孔為圓孔，所述中間環帶上的透光小孔為與所述內部環帶和外部環帶上的透光小孔面積相等的正十六邊形。

6、一種大口徑成像光子篩的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

(1)設計版圖：在設計版圖過程中，加入Connes整形函數，對隨機分布在光子篩不透光金屬薄膜上的透光小孔數目進行量化操作；

(2)根據設計的版圖制作得到光學光刻掩膜版；

(3)在透光襯底上蒸鍍一層金屬薄膜；

(4)在所述透光襯底上涂覆光刻膠，用所述光學光刻掩膜版進行光學光刻，顯影定影后，采用濕法或者干法腐蝕的方法將光刻后暴露出來的金屬薄膜去除。

7、如權利要求6所述的大口徑成像光子篩的制作方法，其特征在于：所述步驟(1)中隨機分布的透光小孔為平面式透光小孔，其分布在中心半徑為r_n，寬度為w_n的環帶上，所述平面式透光小孔之間不重疊；所述平面式透光小孔的圓心分布在環帶中心半徑r_n上，其中：

r_n²＝2nfλ+n²λ²，n＝1，2，3......，

對應r_n上的平面式透光小孔的直徑為：

d_n＝W_n＝λ/2r_n，其中λ為波長，f為焦距。

8、如權利要求7所述的大口徑成像光子篩的制作方法，其特征在于：所述環帶包括內部環帶、中間環帶和外部環帶，所述內部環帶、中間環帶和外部環帶的數目各占總環帶數的1/3，其中所述內部環帶和外部環帶上的透光小孔為圓孔，所述中間環帶上的透光小孔為與所述內部環帶和外部環帶上的透光小孔面積相等的正十六邊形。

9、如權利要求6所述的大口徑成像光子篩的制作方法，其特征在于：所述不透光金屬薄膜的材料為鉻、金、鋁或銅。

10、如權利要求6所述的大口徑成像光子篩的制作方法，其特征在于：所述透光襯底的材料為透光材料，所述透光材料為熔融石英、普通玻璃或有機玻璃，所述透光襯底的直徑大于80mm。