[發(fā)明專利]一種離子注入機(jī)雙法拉第杯測(cè)量比值校正系統(tǒng)及校正方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910090665.5
• 申請(qǐng)日: 2009-09-03
• 公開（公告）號(hào): CN102005362A
• 公開（公告）日: 2011-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邱小莎;伍三忠;龍會(huì)躍;鄧穎輝;李濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/00
• 分類號(hào): H01L21/00;H01L21/66;C23C14/48;H01J37/317
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種對(duì)雙法拉第杯測(cè)量比值進(jìn)行校正的裝置，包括移動(dòng)法拉第杯、劑量采樣法拉第杯、閉環(huán)控制法拉第杯、劑量檢測(cè)器、數(shù)控掃描發(fā)生器、電機(jī)運(yùn)動(dòng)控制器和控制計(jì)算機(jī)，其特征在于：

所述的移動(dòng)法拉第杯輸出劑量檢測(cè)器連接；所述的劑量采樣法拉第杯輸出與劑量檢測(cè)器連接；所述的閉環(huán)控制法拉第杯輸出與劑量檢測(cè)器連接；所述的數(shù)控掃描發(fā)生器輸出與掃描偏轉(zhuǎn)器連接；所述的電機(jī)運(yùn)動(dòng)控制器輸出與移動(dòng)法拉第杯驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接；所述的移動(dòng)法拉第杯、劑量采樣法拉第杯、閉環(huán)控制法拉第杯、劑量檢測(cè)器、數(shù)控掃描發(fā)生器、電機(jī)運(yùn)動(dòng)控制器與控制計(jì)算機(jī)連接，由計(jì)算機(jī)協(xié)調(diào)動(dòng)作并進(jìn)行工作。

2.如權(quán)利要求1所述的一種對(duì)雙法拉第杯測(cè)量比值進(jìn)行校正的裝置，其特征在于：所述的移動(dòng)法拉第杯與數(shù)控裝置連接，可以受控移動(dòng)；所述的閉環(huán)控制法拉第杯位置固定，對(duì)離子束劑量進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。

3.一種實(shí)施如權(quán)利要求1所述的一種對(duì)雙法拉第杯測(cè)量比值進(jìn)行校正的系統(tǒng)裝置的雙法拉第杯之間劑量測(cè)量比值校準(zhǔn)的方法，包括移動(dòng)法拉第杯移動(dòng)到硅晶片的中心位置，啟動(dòng)數(shù)控掃描發(fā)生器均勻掃描，對(duì)掃描離子束進(jìn)行劑量積分采樣，算出平均劑量值再用閉環(huán)控制法拉第杯對(duì)掃描離子束進(jìn)行劑量采樣，算出第二個(gè)平均劑量值然后計(jì)算出劑量比值等過程，其特征在于：

所述的比例系數(shù)校正步驟如下：

1)控制計(jì)算機(jī)將雙向數(shù)字掃描發(fā)生器設(shè)置為“點(diǎn)模式”，控制離子束不掃描，此時(shí)離子束應(yīng)射入劑量采樣法拉第杯；

2)控制計(jì)算機(jī)將劑量檢測(cè)器設(shè)置為“束流檢測(cè)”模式，選擇劑量采樣法拉第杯對(duì)離子束流進(jìn)行采樣，確認(rèn)離子束流已達(dá)到設(shè)定的束流值；

3)控制計(jì)算機(jī)再選擇移動(dòng)法拉第杯對(duì)離子束流進(jìn)行檢測(cè)，將移動(dòng)法拉第杯移到硅晶片的中心位置，劑量檢測(cè)器選定它來監(jiān)視離子束流；

4)計(jì)算機(jī)給數(shù)字掃描發(fā)生器裝載均勻性優(yōu)化過的W掃描波形，且啟動(dòng)離子束掃描；

5)移動(dòng)法拉第杯采樣1040次離子束水平掃描，劑量檢測(cè)器設(shè)置為“積分束流模式”，采樣得到存儲(chǔ)積分器的峰值和平均值。要保證所測(cè)量到的劑量值小于所選量程滿刻度的95％，防止超量程引起的測(cè)量失真；

6)控制計(jì)算機(jī)命令劑量檢測(cè)器停止采樣離子束流，并將移動(dòng)法拉第杯移到它的起始位置；

7)控制計(jì)算機(jī)對(duì)上述采樣得到的離子劑量數(shù)據(jù)進(jìn)行求平均值運(yùn)算，以得到硅晶片實(shí)際接收到的典型的劑量值，計(jì)算公式為：

8)控制計(jì)算機(jī)命令劑量檢測(cè)器選定閉環(huán)法拉第杯來監(jiān)測(cè)離子束流；

9)閉環(huán)法拉第杯采樣1040次離子束水平掃描，劑量檢測(cè)器仍保持“積分束流模式”，采樣得到存儲(chǔ)積分器的峰值和平均值，要保證所測(cè)量到的劑量值小于所選量程滿刻度的95％，防止超量程引起的測(cè)量失真；

10)控制計(jì)算機(jī)對(duì)采樣得到的離子劑量數(shù)據(jù)進(jìn)行求平均值運(yùn)算，以得到閉環(huán)控制法拉第杯可感知到的典型的劑量值，計(jì)算公式為：de‾=Σi=01040de(i)/1040+1;]]>

11)控制計(jì)算機(jī)計(jì)算出“硅片中心劑量”與“硅片邊緣劑量”的比例值，且將該比值存儲(chǔ)。比值計(jì)算公式為：

12)在實(shí)際的離子注入過程中，根據(jù)閉環(huán)控制法拉第杯實(shí)時(shí)采集的劑量讀值，再應(yīng)用該比值計(jì)算出硅晶片接收到的標(biāo)準(zhǔn)劑量，計(jì)算公式為：ds＝p×de。