[發(fā)明專(zhuān)利]線(xiàn)切方機(jī)床

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910089277.5
• 申請(qǐng)日: 2009-07-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101602232A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-12-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 秦建國(guó)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京京聯(lián)發(fā)數(shù)控科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B28D5/04
• 分類(lèi)號(hào): B28D5/04;H01L21/304
• 代理公司: 北京品源專(zhuān)利代理有限公司
• 代理人: 張?jiān)姯?/td>

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料單晶硅、多晶硅的加工領(lǐng)域，特別是一種線(xiàn)切方機(jī) 床。

背景技術(shù)

隨著電子行業(yè)飛速發(fā)展，硅電子材料的需求量越來(lái)越大，產(chǎn)量迅猛增長(zhǎng)， 硅電子材料價(jià)格的居高不下。因此，對(duì)于硅電子材料加工設(shè)備的要求也越來(lái)越 高，尤其對(duì)設(shè)備的生產(chǎn)效率以及加工精度有了更高的要求，更加需要生產(chǎn)效率 高又節(jié)約材料的設(shè)備。

目前，我國(guó)大多使用圓盤(pán)刀式切方機(jī)加工單晶硅。圓盤(pán)刀式切方機(jī)采用鍍 金剛砂的圓盤(pán)刀對(duì)晶棒進(jìn)行切割，圓盤(pán)刀切口在2.2mm左右，一次只能加工一 根晶棒，加工效率和材料的利用率都很低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是，針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)現(xiàn)狀，而提供一種材料 利用率高、工作效率高的線(xiàn)切方機(jī)床。

本發(fā)明解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為：一種線(xiàn)切方機(jī)床，包括左、 右立柱，其上設(shè)置有直線(xiàn)導(dǎo)軌；在所述左、右立柱之間設(shè)置有上、下工作臺(tái)， 一伺服電機(jī)組通過(guò)一減速機(jī)及設(shè)置于左立柱上的滾珠絲杠與所述上工作臺(tái)驅(qū)動(dòng) 連接，所述上工作臺(tái)可以沿著所述直線(xiàn)導(dǎo)軌作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)；上工作臺(tái)下方設(shè) 置有主動(dòng)軸，所述主動(dòng)軸上設(shè)有若干主動(dòng)輪；上工作臺(tái)上方設(shè)置有被動(dòng)軸，所 述被動(dòng)軸上設(shè)有若干被動(dòng)輪；所述伺服電機(jī)組與所述主動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)連接，所述主 動(dòng)軸之間通過(guò)一齒輪箱驅(qū)動(dòng)連接；其特征在于：還包括一收放線(xiàn)機(jī)構(gòu)，所述收 放線(xiàn)機(jī)構(gòu)包括有用于切割的鋼絲線(xiàn)；所述收放線(xiàn)機(jī)構(gòu)可以對(duì)所述鋼絲線(xiàn)進(jìn)行收、 放；所述的鋼絲線(xiàn)由收放線(xiàn)機(jī)構(gòu)輸出，順序繞至所述各個(gè)主動(dòng)輪和各個(gè)被動(dòng)輪， 經(jīng)反復(fù)繞制，在上工作臺(tái)下方、主動(dòng)軸之間形成若干個(gè)井字格；所述井字格可 以為十六個(gè)或二十五個(gè)，相應(yīng)地，主動(dòng)輪設(shè)置為三十二個(gè)或四十個(gè)，被動(dòng)輪設(shè) 置為三十個(gè)或三十八個(gè)；

所述收放線(xiàn)機(jī)構(gòu)由左驅(qū)動(dòng)軸、右驅(qū)動(dòng)軸、左張緊軸、右張緊軸、左布線(xiàn)軸、 右布線(xiàn)軸、左線(xiàn)輪、右線(xiàn)輪和介輪組成；所述左驅(qū)動(dòng)軸、右驅(qū)動(dòng)軸、左張緊軸、 右張緊軸、左布線(xiàn)軸、右布線(xiàn)軸均與所述伺服電機(jī)組驅(qū)動(dòng)聯(lián)接；所述右線(xiàn)輪安 裝在右驅(qū)動(dòng)軸上，其上纏繞有鋼絲線(xiàn)，鋼絲線(xiàn)在伺服電機(jī)組驅(qū)動(dòng)下，經(jīng)右布線(xiàn) 軸、介輪、右張緊軸與主動(dòng)輪、被動(dòng)輪反復(fù)繞線(xiàn)形成若干個(gè)井字格，再經(jīng)過(guò)收 放線(xiàn)機(jī)構(gòu)中的左張緊軸、左布線(xiàn)軸后，纏繞于安裝在左驅(qū)動(dòng)軸上的左線(xiàn)輪上， 完成鋼絲線(xiàn)的放；

待鋼絲線(xiàn)基本放盡，即由右線(xiàn)輪轉(zhuǎn)移到左線(xiàn)輪上時(shí)，由傳感器控制伺服電 機(jī)組反轉(zhuǎn)，鋼絲線(xiàn)在伺服電機(jī)組驅(qū)動(dòng)下，經(jīng)左布線(xiàn)軸、介輪、左張緊軸與主動(dòng) 輪、被動(dòng)輪反復(fù)繞線(xiàn)形成若干個(gè)井字格，再經(jīng)過(guò)收放線(xiàn)機(jī)構(gòu)中的右張緊軸、右 布線(xiàn)軸后，纏繞于安裝在右驅(qū)動(dòng)軸上的右線(xiàn)輪上，完成鋼絲線(xiàn)的收；

所述井字格是這樣繞制的：在所述上工作臺(tái)的上部?jī)蓪?duì)角處設(shè)置有第一、 第二變相輪；主動(dòng)輪包括若干個(gè)主動(dòng)輪、被動(dòng)輪；鋼絲線(xiàn)經(jīng)過(guò)收放線(xiàn)機(jī)構(gòu)的介 輪輸出，繞至主動(dòng)輪，從主動(dòng)輪繞至被動(dòng)輪，經(jīng)第一、第二變向輪，再經(jīng)被動(dòng) 輪繞至主動(dòng)輪，經(jīng)反復(fù)繞線(xiàn)，經(jīng)過(guò)介輪進(jìn)入收放線(xiàn)機(jī)構(gòu)；

所述齒輪箱包括電機(jī)連接軸、錐齒輪、齒輪軸和主軸連接軸；伺服電機(jī)組 通過(guò)所述電機(jī)連接軸與主動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)連接；電機(jī)連接軸通過(guò)所述錐齒輪與所述齒 輪軸正交連接實(shí)現(xiàn)正交傳動(dòng)，齒輪軸通過(guò)直齒輪與主軸連接軸實(shí)現(xiàn)1∶1傳動(dòng)， 從而使兩相交主動(dòng)軸實(shí)現(xiàn)正交傳動(dòng)；

所述下工作臺(tái)上設(shè)置有托料支架，工件采用立式裝夾方式。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，它可以一次加工500mm長(zhǎng)的單晶棒、 多晶棒25根，刀口寬度僅有0.25mm，節(jié)省了原材料，提高了工作效率，即解決 了材料利用率低，加工效率低的問(wèn)題。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例的收放線(xiàn)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖1中上工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例的齒輪箱的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中標(biāo)記為：

11左立柱??????111直線(xiàn)導(dǎo)軌????112滾珠絲杠????12右立柱????21上工作臺(tái)

22下工作臺(tái)????3伺服電機(jī)組????4減速機(jī)????????5A主動(dòng)軸????5主動(dòng)輪

6被動(dòng)輪???????611第一變向輪??612第二變向輪??????????????7齒輪箱

71電機(jī)連接軸??72錐齒輪???????73齒輪軸???????74直齒輪????75主軸連接軸