[發明專利]一種用于對拋光墊進行修整的修整裝置

有效

• 申請號: 200910089150.3
• 申請日: 2009-07-31
• 公開（公告）號: CN101623849A
• 公開（公告）日: 2010-01-13
• 發明（設計）人: 路新春;彭靜;趙德文
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: B24B53/14
• 分類號: B24B53/14;B24B37/04;B24B29/02;H01L21/02
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司
• 代理人: 張文寶

1.一種用于對拋光墊進行修整的修整裝置，其特征在于，自轉電機(8)輸出端與第二同步帶輪(6)連接，并通過同步帶(7)帶動第一同步帶輪(5)轉動，第一同步帶輪(5)中心處依次安裝可旋轉部件(3)、萬向節(2)以及最終執行件(1)，最終執行件(1)由自轉電機(8)通過同步帶(7)驅動旋轉，萬向節(2)傳遞扭矩和下壓力的同時實現修整盤(14)的自適應，保證修整盤(14)平行于拋光墊；在自轉電機(8)下方設置擺動電機(9)，將自轉電機(8)外殼與可擺動懸臂(4)在擺動支點處固連，擺動電機(9)驅動可擺動懸臂(4)帶動最終執行件(1)在拋光墊表面徑向做往復擺動；調節氣缸(11)通過滾動導軌(10)與修整裝置連接，調節氣缸(11)調節壓力實現修整時修整盤(14)上下微動以適應拋光墊旋轉時的跳動并保持一定范圍內的下壓力，不修整時抬起修整盤(14)離開拋光墊。

2.根據權利要求1所述的一種用于對拋光墊進行修整的修整裝置，其特征在于，所述滾動導軌(10)和氣缸(11)的組合，在功能上提供最終執行件(1)的升降和對拋光墊的施壓，并通過測氣壓得到下壓力值；在結構上作為承載件，氣缸(11)承受軸向的力，滾動導軌(10)承受其余的力、彎矩和扭矩，保證了運動的平穩性以及壓力測量的精度。

3.根據權利要求1所述的一種用于對拋光墊進行修整的修整裝置，其特征在于，所述可擺動懸臂(4)通過第一軸承(12)和第二軸承(13)將軸向力、徑向力和彎矩傳到滾動導軌(10)上，擺動電機(9)只輸出扭矩，不承受軸向力、徑向力和彎矩。