[發明專利]采用磁懸浮平面電機的硅片臺多臺交換系統

有效

• 申請號: 200910088892.4
• 申請日: 2009-07-21
• 公開（公告）號: CN101609265A
• 公開（公告）日: 2009-12-23
• 發明（設計）人: 朱煜;張鳴;汪勁松;閔偉;胡金春;尹文生;楊開明;徐登峰;段廣洪;蔡田
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H02N15/00
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司
• 代理人: 邸更巖

1.一種采用磁懸浮平面電機的硅片臺多臺交換系統，包括基臺(11)、硅片臺組和硅片臺驅動裝置，其特征在于：所述硅片臺組包括多個結構相同的分別工作于預處理工位或曝光工位的硅片臺，所述硅片臺驅動裝置采用磁懸浮平面電機，磁懸浮平面電機的定子(21)設置在基臺頂部，平面電機的動子(24)設置在硅片臺底部；所述磁懸浮平面電機采用動圈式永磁磁懸浮平面電機、動鐵式永磁磁懸浮平面電機或磁懸浮感應式平面電動機；所述動圈式永磁磁懸浮平面電機的定子或動鐵式永磁磁懸浮平面電機的動子采用平面永磁陣列，所述平面永磁陣列包括大永磁體(18)、小永磁體(19)和過渡永磁體(17)，大永磁體、小永磁體和過渡永磁體分別沿豎直方向、水平方向和與豎直方向成45度角方向充磁；所述大永磁體垂直于Z軸方向的截面為正方形，在平面內按N-S極交錯排列成平面陣列；所述小永磁體排列在兩個相鄰大永磁體的正中間，充磁方向從沿Z軸正方向充磁的大永磁體指向沿Z軸負方向充磁的大永磁體，且與小永磁的一條沿X軸或Y軸方向的棱邊平行；所述過渡永磁體排列在相鄰的大永磁體和小永磁體之間，充磁方向與相鄰永磁體充磁方向都成45°夾角。

2.按照權利要求1所述的一種采用磁懸浮平面電機的硅片臺多臺交換系統，其特征在于：所述動圈式永磁磁懸浮平面電機的動子或動鐵式永磁磁懸浮平面電機的定子由n個在以硅片臺質心為原點的坐標系中關于X軸對稱分布且關于Y軸對稱分布的X向電磁單元與Y向電磁單元組成，n為大于等于2的整數；X向電磁單元由多個線圈沿X軸方向線性排列而成；Y向電磁單元由多個線圈沿Y軸方向線性排列而成；線圈帶鐵芯或不帶鐵芯。

3.按照權利要求2所述的一種采用磁懸浮平面電機的硅片臺多臺交換系統：所述動圈式永磁磁懸浮平面電機的動子或動鐵式永磁磁懸浮平面電機的定子由2個X向電磁單元與3個Y向電磁單元組成；組成電磁單元的線圈不帶鐵芯。