[發(fā)明專利]分析光學(xué)元件保偏特性的方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910088591.1
• 申請(qǐng)日: 2009-07-08
• 公開（公告）號(hào): CN101943630A
• 公開（公告）日: 2011-01-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳昊;鄭厚植;朱匯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
• 主分類號(hào): G01M11/02
• 分類號(hào): G01M11/02
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 湯保平

1.一種分析光學(xué)元件保偏特性的方法，包括如下步驟：

步驟1：由第一寬波段線偏振片和第一寬波段四分之一波長(zhǎng)波片組成極化單元，由第二寬波段四分之一波長(zhǎng)波片和第二寬波段線偏振片組成檢測(cè)單元，在同一光路上依次排列有激光器、極化單元、檢測(cè)單元和光功率計(jì)，以構(gòu)成探測(cè)系統(tǒng)；

步驟2：調(diào)節(jié)極化單元，即調(diào)節(jié)第一寬波段線偏振片光軸與第一寬波段四分之一波長(zhǎng)波片光軸的相對(duì)角度，使激光器出射的入射光成為完全極化的左旋或右旋圓偏振光；

步驟3：調(diào)節(jié)檢測(cè)單元，即調(diào)節(jié)第二寬波段四分之一波長(zhǎng)波片光軸與第二寬波段線偏振片光軸的相對(duì)角度，使其只允許與步驟二中入射光偏振特性相反的右旋或左旋圓偏振光通過，則此時(shí)入射光不能到達(dá)光功率計(jì)，從而光功率計(jì)的讀數(shù)只是環(huán)境光的反映；

步驟4：在極化單元和檢測(cè)單元之間插入待測(cè)的光學(xué)元件；

步驟5：讀取光功率計(jì)的讀數(shù)，若待測(cè)光學(xué)元件對(duì)入射光的偏振狀態(tài)有所改變，光功率計(jì)的讀數(shù)將有所增加；若待測(cè)光學(xué)元件對(duì)入射光的偏振狀態(tài)沒有改變，則光功率計(jì)的讀數(shù)不變，仍然只反映環(huán)境光的強(qiáng)度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分析光學(xué)元件保偏特性的方法，其中采用的第一寬波段線偏振片和第二寬波段線偏振片，在可見到近紅外的波長(zhǎng)范圍內(nèi)消光比為100000∶1，以保證所進(jìn)行測(cè)量的準(zhǔn)確性。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分析光學(xué)元件保偏特性的方法，其中采用的第一寬波段四分之一波長(zhǎng)波片和第二寬波段四分之一波長(zhǎng)波片，在690-1200nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)消色差，以滿足在該波長(zhǎng)范圍內(nèi)所進(jìn)行測(cè)量的準(zhǔn)確性。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分析光學(xué)元件保偏特性的方法，其中所采用的激光器，是工作在任何需要測(cè)試的波長(zhǎng)的各種激光器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分析光學(xué)元件保偏特性的方法，其中所采用的光功率計(jì)，是帶衰減器的硅芯片探測(cè)器，其探測(cè)靈敏度在可見到近紅外的波長(zhǎng)范圍內(nèi)達(dá)到皮瓦量級(jí)，以保證所進(jìn)行探測(cè)的準(zhǔn)確性。