[發明專利]基于諧振梁掃描的差動共焦瞄準觸發式顯微測量方法與裝置

無效

• 申請號: 200910086926.6
• 申請日: 2009-06-18
• 公開（公告）號: CN101586947A
• 公開（公告）日: 2009-11-25
• 發明（設計）人: 趙維謙;郭俊杰;邱麗榮;沙定國
• 申請（專利權）人: 北京理工大學
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 北京理工大學專利中心
• 代理人: 張利萍

1.基于諧振梁掃描的差動共焦瞄準觸發式顯微測量方法，其特征在于：

①平行光透過偏振分光鏡(1)、1/4波片(2)，經過物鏡(3)會聚到被測樣品(5)；光線經過被測樣品(5)反射后，通過物鏡(3)、1/4波片(2)和偏振分光鏡(1)進入差動共焦瞄準觸發系統(6)；

②兩端固支的諧振梁(4)帶動物鏡(3)在光軸方向做高速振動掃描，差動共焦響應曲線上的零點(23)對應物鏡(3)聚焦到被測樣品(5)的表面；

③通過差動共焦瞄準觸發系統(6)探測零點(23)來測量與其對應的物鏡(3)的振動位置，其值記為a，為瞄準點對應被測樣品(5)表面的高度值。

2.根據權利要求1所述的基于諧振掃描的差動共焦瞄準觸發式顯微測量方法，其特征在于：還可以在光路中加入超分辨光學系統(15)，可放置在偏振分光鏡(1)前面，也可放置在偏振分光鏡(1)與差動共焦瞄準觸發系統(6)之間，用于提高差動共焦瞄準觸發系統的橫向分辨力。

3.根據權利要求1所述的基于諧振梁掃描的差動共焦瞄準觸發式顯微測量方法，其特征在于：被測樣品(5)為透明或半透明物體時，物鏡(3)還可以聚焦到被測樣品(5)內表面。

4.基于諧振梁掃描的差動共焦瞄準觸發式顯微測量裝置，包括光源(14)，其特征在于：還包括偏振分光鏡(1)、1/4波片(2)、物鏡(3)、兩端固支諧振梁(4)、位移測量系統(17)和差動共焦瞄準觸發系統(6)；其中偏振分光鏡(1)、1/4波片(2)和物鏡(3)依次放在光源(14)出射光線方向，差動共焦瞄準觸發系統(6)放置在偏振分光鏡(1)反射方向；被測樣品(5)與偏振分光鏡(1)將光束反射至差動共焦瞄準觸發系統(6)，兩端固支諧振梁(4)配合物鏡(3)、差動共焦瞄準觸發系統(6)和位移測量系統(17)實現被測樣品(5)外表面或內表面的形貌測量。

5.根據權利要求4所述的基于諧振梁掃描的差動共焦瞄準觸發式顯微測量裝置，其特征還在于：還可以在光路中加入超分辨光學系統(15)，可放置在光源(14)與偏振分光鏡(1)之間，也可放置在偏振分光鏡(1)與差動共焦瞄準觸發系統(6)之間。?