[發明專利]一種組合式三維高速掃描裝置

無效

• 申請號: 200910085101.2
• 申請日: 2009-05-31
• 公開（公告）號: CN101576466A
• 公開（公告）日: 2009-11-11
• 發明（設計）人: 周瑜升;商廣義;蔡微;姚駿恩
• 申請（專利權）人: 北京航空航天大學
• 主分類號: G01N13/10
• 分類號: G01N13/10;G12B21/22
• 代理公司: 北京永創新實專利事務所
• 代理人: 周長琪

1.一種組合式三維高速掃描裝置，其特征在于：該裝置主要包括三維掃描器和高速一維掃描器，當樣品臺固定在高速一維掃描器上時，所述的高速一維掃描器通過固定底座安裝在三維掃描器上，高速一維掃描器帶動樣品臺與三維掃描器一起實現三維高速掃描；當樣品臺固定在三維掃描器上時，所述的高速一維掃描器固定在探針固定架上，高速一維掃描器帶動探針與三維掃描器一起實現三維高速掃描；

所述的高速一維掃描器包括固定片A、B和雙層壓電陶瓷片，所述的雙層壓電陶瓷片一端通過固定片A、B固定連接，另一端為自由端，自由端末端上表面粘接樣品臺，或者自由端末端下表面粘接探針；所述固定片A、B通過固定底座與三維掃描器連接，或者固定片A、B與探針固定架連接；所述的雙層壓電陶瓷片的一層作為激振片，另一層作為檢測片，激振片連接到高速掃描電壓輸出端，用于驅動雙層壓電陶瓷片自身并同時帶動樣品臺或者探針在其共振頻率附近做橫向振動，實現x方向高速掃描，檢測片連接到電壓檢測輸入端；所述的三維掃描器用于實現y方向掃描以及z方向控制。

2.根據權利要求1所述的一種組合式三維高速掃描裝置，其特征在于：所述的雙層壓電陶瓷片為矩形。

3.根據權利要求1所述的一種組合式三維高速掃描裝置，其特征在于：三維掃描器為一個單管式壓電陶瓷管，沿Z軸正方向設置，單管式壓電陶瓷管上端與絕緣固定環粘接，絕緣固定環上連接樣品臺或者高速一維掃描器。

4.根據權利要求3所述的一種組合式三維高速掃描裝置，其特征在于：單管式壓電陶瓷管的外壁被分為四個相等的電極，分別連接到+X掃描電壓輸出端、-X掃描電壓輸出端、+Y掃描電壓輸出端和-Y掃描電壓輸出端，單管式壓電陶瓷管的內壁電極連接至Z掃描電壓輸出端。

5.根據權利要求1所述的一種組合式三維高速掃描裝置，其特征在于：三維掃描器為一個平板式三維掃描器，該平板式三維掃描器上連接樣品臺。