[發明專利]一種工藝控制方法及控制系統

有效

• 申請號: 200910084136.4
• 申請日: 2009-05-20
• 公開（公告）號: CN101556460A
• 公開（公告）日: 2009-10-14
• 發明（設計）人: 張善貴
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: G05B17/02
• 分類號: G05B17/02
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司
• 代理人: 蘇培華

技術領域

本發明涉及半導體工藝技術領域，特別是涉及一種工藝控制方法及控制系統。?

背景技術

工藝控制是指通過分析工藝輸入變量和輸出變量之間的變化關系，利用工藝輸出值來反饋調節工藝輸入變量的方法。工藝的靈敏度分析，是指對工藝輸入變量和輸出變量之間的變化關系進行分析。工藝的靈敏度分析是工藝研發中非常關鍵的一項技術。近幾年來，隨著工藝制造技術的快速發展，工藝靈敏度分析的工作也開始變得愈加重要。針對具體的工藝過程，對輸入變量和輸出變量合理有效的進行靈敏度分析，不僅可以實現工藝調節的定量分析，還能大幅提高數據的利用效率，從而降低工藝研發的成本。?

現有的工藝靈敏度分析技術主要采用定性分析的方法，這類方法的基本思想是：對于兩組工藝對比試驗，只增加(或減少)輸入變量x_i，若此時工藝輸出變量y_j相應地增加(或減少)，則表示工藝輸出變量y_j與輸入變量x_i成正比；反之，當增加(或減少)輸入變量x_i時，如果工藝輸出變量y_j相應地減少(或增加)，則表示工藝輸出變量y_j與輸入變量x_i成反比。?

上述工藝靈敏度分析方法可以定性地分析出輸入變量和輸出變量之間的變化關系，因此對于一般的工藝趨勢分析，上述方法基本能準確地分析出這種變化關系。然而，在進行工藝調節的實際過程中，除了要求知道工藝輸入變量與輸出變量的變化趨勢，有時還必須知道輸入變量與輸出變量之間的定量的變化關系，即定量地給出輸入變量x_i對輸出變量y_i的影響程度：x_i每增加(或減少)一個單位，y_j會相應的變化多少。如果不能定量地分析出這種變化關系，就無法進行精確的工藝調節和控制。?

因此，目前需要解決的問題是：如何能夠精確地實現工藝調節和控制，從而提高工藝數據的利用效率，降低工藝研發成本。?

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種工藝控制方法及控制系統，能夠精確地實現工藝調節和控制，以提高工藝數據的利用效率，降低工藝研發成本。?

一種工藝控制方法，包括：?

預先建立工藝輸入變量與輸出變量之間的函數關系式，并確定所述函數關系式的系數；?

預置工藝基準輸入變量值；按照預置的輸入變量調節次序，利用所述函數關系式的系數逐個對所述基準輸入變量值進行調節，每次調節之后，進行如下控制步驟：?

利用調節后的基準輸入變量值測量真實輸出變量值；判斷所述真實輸出變量值與工藝控制目標之間的誤差是否達到控制精度，如果達到，則結束所述調節；如果未達到，則繼續對基準輸入變量值進行調節，直到達到控制精度；?

對其中一個基準輸入變量值進行調節，具體包括：設定該一個基準輸入變量值為β_i，調節后的該一個基準輸入變量值為?對應該一個基準輸入變量的關系式系數為a_i，上一次調節得到的真實輸出變量值為Y₀，工藝控制目標為T，則：?

β^i=βi+Δβi=βi+T-Y0ai.]]>

優選的，所述對其中一個基準輸入變量值進行調節之后，還包括：?