[發(fā)明專利]集成外轉(zhuǎn)子式直驅(qū)拋光機(jī)轉(zhuǎn)臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910083590.8
• 申請(qǐng)日: 2009-05-11
• 公開（公告）號(hào): CN101554710A
• 公開（公告）日: 2009-10-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 路新春;趙德文;王同慶;雒建斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué)
• 主分類號(hào): B24B29/00
• 分類號(hào): B24B29/00;H01L21/304
• 代理公司: 北京眾合誠成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 張文寶

1.集成外轉(zhuǎn)子式直驅(qū)拋光機(jī)轉(zhuǎn)臺(tái)，其特征在于，支撐軸承(2)的內(nèi)圈安裝在轉(zhuǎn)子軸盤(3)上，支撐軸承(2)的外圈安裝于軸承座(1)內(nèi)；拋光盤(6)安裝于轉(zhuǎn)子軸盤(3)上；支撐盤(8)與軸承座(1)下端用螺栓聯(lián)接，直驅(qū)電機(jī)定子(7)用螺栓安裝于支撐盤(8)上；所述的轉(zhuǎn)子軸盤(3)集成了直驅(qū)電機(jī)轉(zhuǎn)子，直驅(qū)電機(jī)定子(7)位于轉(zhuǎn)子軸盤(3)內(nèi)部，轉(zhuǎn)子軸盤(3)與直驅(qū)電機(jī)定子(7)組成外轉(zhuǎn)子型直驅(qū)電機(jī)；圓光柵(9)安裝在轉(zhuǎn)子軸盤(3)下端，讀數(shù)頭(10)安裝在支撐盤(8)上，用以完成轉(zhuǎn)臺(tái)的速度和位置反饋控制；集液槽(11)安裝于拋光盤(6)外沿下方，用以實(shí)現(xiàn)對(duì)拋光盤(6)上表面液體的收集。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成外轉(zhuǎn)子式直驅(qū)拋光機(jī)轉(zhuǎn)臺(tái)，其特征在于，所述的支撐軸承(2)為交叉滾子軸承、雙排推力角接觸球軸承或三排圓柱滾子組合軸承；對(duì)于內(nèi)外圈沒有安裝孔的支撐軸承(2)，其內(nèi)圈由內(nèi)壓蓋(5)固定，外圈由外壓蓋(4)固定；對(duì)于內(nèi)外圈有安裝孔的支撐軸承(2)，其內(nèi)外圈分別由螺栓固定。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成外轉(zhuǎn)子式直驅(qū)拋光機(jī)轉(zhuǎn)臺(tái)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)子軸盤(3)集成直驅(qū)電機(jī)轉(zhuǎn)子的方式為：將永磁體(31)直接均勻地嵌入轉(zhuǎn)子軸盤(3)內(nèi)孔，或者將成套轉(zhuǎn)子(32)壓裝在轉(zhuǎn)盤軸承(3)內(nèi)孔。