[發明專利]一種工藝過程參數的可視化處理方法和裝置

有效

• 申請號: 200910082770.4
• 申請日: 2009-04-29
• 公開（公告）號: CN101539773A
• 公開（公告）日: 2009-09-23
• 發明（設計）人: 梁小祎
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司
• 代理人: 蘇培華

1.一種工藝過程參數的可視化處理方法，其特征在于，包括：

針對已建立通信連接的多個工藝模塊，建立相應的工藝過程參數接 收線程及工藝過程參數繪制線程；所述工藝過程參數接收線程建立時的 初始狀態為開啟，所述工藝過程參數繪制線程建立時的初始狀態為未開 啟；所述工藝過程參數接收線程用于判斷相應工藝模塊是否處于工藝運 行狀態，若是，則獲取所述相應工藝模塊的工藝過程參數并保存到緩存 區；

接收用戶針對某個工藝模塊發起的工藝過程參數顯示請求；

依據所述請求，激活這個工藝模塊所針對的工藝過程參數繪制線程， 對緩存區的工藝過程參數進行可視化處理。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：

當用戶針對某個工藝模塊發起的工藝過程參數顯示請求結束時，將 這個工藝模塊對應的工藝過程參數繪制線程掛起；

當與某個工藝模塊斷開通信連接時，將相應的工藝過程參數接收線 程關閉。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，當所述工藝過程參數接 收線程判斷相應工藝模塊處于工藝運行狀態時，所述激活步驟包括：

當所述相應工藝模塊對應的工藝過程參數繪制線程未開啟時，將該 線程開啟。

4.如權利要求2所述的方法，其特征在于，當所述工藝過程參數接 收線程判斷相應工藝模塊處于工藝運行狀態時，所述激活步驟包括：

當所述相應工藝模塊對應的工藝過程參數繪制線程為開啟狀態下的 掛起子狀態時，將該線程喚醒。

5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，當所述工藝過程參數接 收線程判斷相應工藝模塊處于工藝停止狀態時，所述方法還包括：

當所述相應工藝模塊對應的工藝過程參數繪制線程開啟時，將該線 程掛起。

6.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述工藝模塊具有對應 的顯示界面，在激活繪制線程的步驟之前，還包括：

切換至所述請求所針對的工藝模塊的顯示界面。

7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，還包括：

若未切換至所述顯示界面，則在所述工藝模塊對應的工藝過程參數 繪制線程為開啟時，將該線程掛起。

8.一種工藝過程參數的可視化處理裝置，其特征在于，包括：

通信建立模塊，用于與多個工藝模塊建立通信連接；

線程建立模塊，用于針對所述多個工藝模塊建立相應的工藝過程參 數接收線程及工藝過程參數繪制線程；所述工藝過程參數接收線程建立 時的初始狀態為開啟，所述工藝過程參數繪制線程建立時的初始狀態為 未開啟；所述工藝過程參數接收線程用于判斷相應工藝模塊是否處于工 藝運行狀態，若是，則獲取所述相應工藝模塊的工藝過程參數并保存到 緩存區；

請求處理模塊，用于接收用戶針對某個工藝模塊發起的工藝過程參 數顯示請求；

繪制線程激活模塊，用于依據所述請求，激活這個工藝模塊所針對 的工藝過程參數繪制線程，對緩存區的工藝過程參數進行可視化處理。

9.如權利要求8所述的裝置，其特征在于，還包括：

線程中止模塊，用于在用戶針對某個工藝模塊發起的工藝過程參數 顯示請求結束時，將所述工藝模塊對應的工藝過程參數繪制線程掛起；

線程關閉模塊，用于在與某個工藝模塊斷開通信連接時，將相應的 工藝過程參數接收線程關閉。

10.如權利要求8所述的裝置，其特征在于，當所述工藝過程參數 接收線程判斷工藝模塊處于工藝運行狀態時，所述繪制線程激活模塊包 括：

線程開啟子模塊，用于在所述工藝模塊對應的工藝過程參數繪制線 程未開啟時，將該線程開啟。

11.如權利要求9所述的裝置，其特征在于，當所述工藝過程參數 接收線程判斷相應工藝模塊處于工藝運行狀態時，所述繪制線程激活模 塊包括：

線程喚醒子模塊，用于在所述相應工藝模塊對應的工藝過程參數繪 制線程為開啟狀態下的掛起子狀態時，將該線程喚醒。