[發明專利]一種微機電系統螺線管電感的制備方法

無效

• 申請號: 200910082439.2
• 申請日: 2009-04-17
• 公開（公告）號: CN101599425A
• 公開（公告）日: 2009-12-09
• 發明（設計）人: 李修函;邵際南;舒光華
• 申請（專利權）人: 北京交通大學
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/822;H01F37/00;H01F41/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種微機電系統螺線管電感的制備方法，其特征在于，該制備方法的步驟包括：

一、下半部分制作步驟：

步驟1，在潔凈的下襯底(1)上，制作阻擋層(2)；

步驟2，涂一層光刻膠(3)，并進行光刻，形成缺口，露出阻擋層(2)；

步驟3，對阻擋層(2)進行刻蝕，刻去露出的阻擋層(2)，使阻擋層形成缺口，之后去除光刻膠(3)；

步驟4，在步驟3使阻擋層(2)形成的缺口處的下襯底(1)上，采用各向同性刻蝕或各向異性刻蝕的方法刻蝕出一個槽；

步驟5，去阻擋層(2)；

步驟6，在完成步驟5后的下襯底(1)上，采用濺射或蒸發的方法，制作用作電鍍或化學鍍的種子層(4)；

步驟7，在下襯底(1)上的種子層(4)上，涂光刻膠(5)，并進行光刻，形成線圈模具；

步驟8，在下襯底(1)上的種子層(4)上，電鍍或化學鍍用作線圈的金屬(6)；

步驟9，在下襯底(1)上的用作線圈的金屬(6)上，電鍍或化學鍍連接金屬(7)；

步驟10，去光刻膠及其下面的種子層(4)；

二、上半部分制作步驟：

步驟1，在潔凈的上襯底(8)上，制作阻擋層(9)；

步驟2，涂一層光刻膠(3)，并進行光刻，形成缺口，露出阻擋層；

步驟3，對阻擋層(9)進行刻蝕，刻去露出的阻擋層(9)，使阻擋層形成缺口，之后去除光刻膠(3)；

步驟4，在步驟3使阻擋層(9)形成的缺口處的在上襯底(8)上，采用各向同性刻蝕或各向異性刻蝕的方法刻蝕出一個槽；

步驟5，去阻擋層(9)；

步驟6，在完成步驟5后的上襯底(8)上，采用濺射或蒸發的方法，制作用作電鍍或化學鍍的種子層(4)；

步驟7，在上襯底(8)上的種子層(4)上，涂光刻膠(5)，并進行光刻，形成線圈模具；

步驟8，在上襯底(8)上的種子層(4)上，電鍍或化學鍍用作線圈的金屬(6)；

步驟9，在上襯底(8)上的用作線圈的金屬(6)上，電鍍或化學鍍連接金屬(7)；

步驟10，去光刻膠(5)及其下面的種子層(4)；

三、將制作好的上下兩半部分進行對準倒裝焊，形成微機電系統螺線管電感。

2.根據權利要求1所述的一種微機電系統螺線管電感的制備方法，其特征在于，下半部分制作的步驟1和上半部分制作中步驟1中的上襯底(8)和下襯底(1)的材料為硅或玻璃；阻擋層(2)和阻擋層(9)采用淀積碳化硅、氮化硅、多晶硅或氧化硅的方法，或者熱氧化的方法制成。

3.根據權利要求1所述的一種微機電系統螺線管電感的制備方法，其特征在于，下半部分制作中步驟4和上半部分制作中步驟4中的槽為半圓弧或梯形截面形狀，槽為半圓弧截面形狀時，采用各向同性刻蝕的方法，槽為梯形截面形狀時，采用各向異性刻蝕的方法。

4.根據權利要求1所述的一種微機電系統螺線管電感的制備方法，其特征在于，下半部分制作的步驟6和上半部分制作中步驟6中種子層(4)為一層鈦和一層用作線圈的金屬(6)復合成，或一層鉻和一層用作線圈的金屬(6)復合成。

5.根據權利要求1所述的一種微機電系統螺線管電感的制備方法，其特征在于，下半部分制作的步驟8和上半部分制作中步驟8中電鍍或化學鍍用作線圈的金屬(6)，所鍍金屬為銅、鎳、金中的一種金屬。

6.根據權利要求1所述的一種微機電系統螺線管電感的制備方法，其特征在于，下半部分制作的步驟9和上半部分制作中步驟9中的電鍍或化學鍍連接金屬(7)，所鍍金屬為銅、鎳、鈷、銠、鉑、鈀、鉻、鋁、銀、金中的一種金屬。

7.根據權利要求1所述的一種微機電系統螺線管電感的制備方法，其特征在于，將制作好的上下兩半部分進行對準倒裝焊后，腐蝕掉上襯底(8)。