[發(fā)明專利]陣列基板及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910081011.6
• 申請日: 2009-03-27
• 公開（公告）號: CN101846858A
• 公開（公告）日: 2010-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林允植
• 申請（專利權(quán)）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;H01L21/84;H01L23/52;H01L23/48;H01L21/66
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 劉芳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及液晶顯示技術(shù)，特別涉及一種陣列基板及其制造方法。

背景技術(shù)

液晶顯示裝置(Liquid?Crystal?Display；簡稱：LCD)是通過控制在液晶面板上陣列排列的液晶像素的光透過率來顯示各種畫面。一般把驅(qū)動液晶面板用的驅(qū)動芯片壓接在薄膜晶體管液晶顯示裝置(Thin?Film?Transistor?Liquid?Crystal?Display；簡稱：TFT?LCD)面板上的方法有三種：引線鍵合(Wire?Bonding；簡稱：WB)方式、帶狀載體壓接(Tape?Automated?Bonding；簡稱：TAB)方式和芯片直壓(Chip?On?Glass；簡稱：COG)的方式。在液晶面板的制造工藝中為了在制成液晶核之前先檢出不良的面板，以防止不良的面板流到后續(xù)的工藝，進(jìn)行陣列基板測試(Array?Test)。在適用COG方式的制造工藝時(shí)，通常采用進(jìn)行陣列基板測試之前先將信號線通過連接線都連接起來，等陣列基板測試結(jié)束之后，再用激光切割的方法把信號線斷開的方法。但是用激光切割柵極線或數(shù)據(jù)線金屬的時(shí)候，會產(chǎn)生金屬顆粒，形成污染，而且激光切割的這樣一個過程影響了作業(yè)速度，降低了生產(chǎn)效率。

為了減少激光切割的工序，已經(jīng)提出了各種方法。例如：在韓國專利KR2005-0110745中提出一種在柵極線或數(shù)據(jù)線上附加設(shè)計(jì)薄膜晶體管(Thin?Film?Transistor；以下簡稱：TFT)開關(guān)，TFT的柵極都連在一起用一個開關(guān)信號來控制它的開關(guān)狀態(tài)。這樣，陣列基板測試的時(shí)候只需加開啟信號打開開關(guān)，測試之后也不需要特殊的處理。但是柵極/數(shù)據(jù)線通過TFT并列連接，有時(shí)候即使實(shí)際信號斷開了也會因?yàn)橄虏勘彻猱a(chǎn)生漏電流而引起信號失真，而且在制造大型面板的時(shí)候因?yàn)樾枰O(shè)計(jì)大的TFT存在適用困難的問題。

在韓國專利KR2005-0003511中公開了另外一種方法。在面板的最外圍設(shè)計(jì)連接線，所有的柵極線或數(shù)據(jù)線都垂直連接到連接線上，最后在打磨(Grinding)工藝中消除連接線，這樣就不用增加額外的工藝。但是這種方法在將驅(qū)動芯片壓接在面板的過程中，由于壓接芯片的強(qiáng)壓，COG壓接焊盤和在其下面走線的連接用走線會有短路的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種陣列基板及其方法，能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中采用激光切割工藝產(chǎn)生的污染問題，從而提高產(chǎn)率和生產(chǎn)效率。

本發(fā)明的陣列基板，包括顯示畫面的有效區(qū)域和用于給有效區(qū)域提供像素信號的焊盤區(qū)域；所述有效區(qū)域包括：用第一金屬制成的第一信號線、用第二金屬制成的第二信號線、與所述第一信號線和所述第二信號線電氣連接的開關(guān)元件和由所述開關(guān)元件驅(qū)動的像素電極；所述焊盤區(qū)域還包括：測試信號線；測試用連接線，與有效區(qū)域的信號線電氣連接；所述測試用連接線包括：一端與測試信號線電氣連接的第一部分和一端與所述有效區(qū)域的第一信號線或第二信號線電氣連接的第二部分；所述第一部分和第二部分的另一端相隔一段距離相對設(shè)置；所述測試用連接線還包括使所述第一部分的另一端和所述第二部分的另一端電氣連接的連接部。

本發(fā)明的陣列基板與現(xiàn)有技術(shù)相比通過陣列基板工藝實(shí)現(xiàn)陣列基板測試之后切斷信號線的工序，省去了激光切割信號線的工序，從而避免了激光切割金屬線時(shí)產(chǎn)生的金屬顆粒污染問題，提高了產(chǎn)率和生產(chǎn)效率。這種陣列基板不用設(shè)計(jì)TFT結(jié)構(gòu)，沒有信號失真的問題，驅(qū)動芯片壓接的時(shí)候也不會出現(xiàn)走線短路的問題。

本發(fā)明提供一種陣列基板的制造方法，所述陣列基板包括顯示畫面用的有效區(qū)域和給所述有效區(qū)域提供信號用的焊盤區(qū)域，包括：

在玻璃基板上沉積不透明的導(dǎo)電層；

利用構(gòu)圖工藝形成不透明導(dǎo)電層的圖案，所述不透明導(dǎo)電層的圖案包括給所述有效區(qū)域提供信號的第一信號線和所述焊盤區(qū)域里的測試信號線和測試用連接線，所述測試用連接線包括一端與測試信號線電氣連接的第一部分和一端與有效區(qū)域的第一信號線電氣連接的第二部分，所述第一部分的另一端與第二部分的另一端相隔一段距離相對設(shè)置；

在完成所述不透明導(dǎo)電層的圖案的玻璃基板上沉積絕緣層；

利用構(gòu)圖工藝形成使所述焊盤區(qū)域的測試用連接線的第一部分的另一端和第二部分的另一端裸露的過孔；

在完成所述絕緣層上的過孔的玻璃基板上沉積透明導(dǎo)電層；

利用構(gòu)圖工藝刻蝕透明導(dǎo)電層，形成所述有效區(qū)域里的像素電極和在所述焊盤區(qū)域的過孔上使所述測試用連接線的第一部分的另一端和第二部分的另一端連接的連接部的圖案。