[發明專利]一種復雜形狀散熱器元件的制備方法

無效

• 申請號: 200910080986.7
• 申請日: 2009-03-31
• 公開（公告）號: CN101520287A
• 公開（公告）日: 2009-09-02
• 發明（設計）人: 尹海清;劉艷平;曲選輝;李平;秦明禮
• 申請（專利權）人: 北京科技大學
• 主分類號: F28F21/00
• 分類號: F28F21/00;C04B35/08;C04B35/10;C04B35/565;C04B35/583;B22F3/115
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1.一種復雜形狀的散熱器元件的制備方法，其特征在于以金屬或陶瓷粉末為原料，以粉末微注射成形技術制備具有復雜形狀的散熱器元件；所涉及金屬粉末為銅粉、銅合金粉、鐵粉、鎳粉、鐵鎳合金粉、鈷粉、可伐合金粉末、鉬粉、鉬合金粉、鎢粉、鎢合金粉、鋁粉、鋁合金粉，陶瓷粉末為氧化鈹粉、氮化硼粉、氮化鋁粉、碳化硅粉末，粉末的平均粒度不大于20微米；有機物混合物為熱塑性有機混合物體系，包括工業石蠟30～70％wt，高密度聚乙烯10～30％wt，低密度聚丙烯10～30％wt，硬脂酸0～15％wt；金屬或陶瓷粉末與有機物混合物混煉的溫度為110～145℃，時間為40～90mins，得到金屬或陶瓷粉末均勻分布的喂料；采用粉末微注射成形技術獲得具有微結構的散熱器元器件的預成形坯，通過基于有機物在溶劑中的溶解以及加熱時的熱解機理進行脫脂工序，除去有機物，然后通過燒結作用，得到具有復雜形狀的散熱器元件。

2.按照權利要求1所述的一種復雜形狀的散熱器元件的制備方法，其特征在于：當模腔的微小結構的橫截面最小尺寸不小于0.4mm時，采用微細電火花技術加工模腔，模腔的材料選擇模具鋼；當模腔的微小結構的橫截面最小尺寸小于0.4mm時，采用感應耦合等離子體刻蝕技術加工模腔，模腔的材料為單晶硅。

3.按照權利要求1所述的一種復雜形狀的散熱器元件的制備方法，其特征在于：權利要求1所述的金屬或陶瓷粉末喂料，在注射溫度為160～175℃，注射壓力為30～100MPa的條件下注射，得到散熱器元件的注射坯體。

4.按照權利要求1所述的一種復雜形狀的散熱器元件的制備方法，其特征在于：脫脂過程是經三氯乙烯或乙醇溶液的溶劑脫脂，烘干后進行熱脫脂，在溶劑脫脂和熱脫脂的共同作用下，去除有機物混合物。

5.按照權利要求1所述的一種復雜形狀的散熱器元件的制備方法，其特征在于：所述的脫脂坯體在700～850℃預燒結半小時，得到多孔的預成形坯體，然后在流動氨分解氣體中，以1～1.5℃/min的速度升至1300-1350℃，保溫90-120min。

6.按照權利要求1所述的一種復雜形狀的散熱器元件的制備方法，其特征在于：所述的脫脂坯體在微波燒結爐中，以流動氫氣為保護氣氛，碳化硅粉末為燒結介質，或在真空狀態下，以25℃/min的升溫速率加熱到850-1750℃，保溫20min至6小時。