[發明專利]一種用于等離子體浸沒注入劑量檢測的法拉第裝置

有效

• 申請號: 200910080916.1
• 申請日: 2009-03-25
• 公開（公告）號: CN101847559A
• 公開（公告）日: 2010-09-29
• 發明（設計）人: 汪明剛;劉杰;夏洋;李超波;陳瑤;趙麗莉
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: H01J37/244
• 分類號: H01J37/244;H01J37/02;H01L21/66
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 周國城

1.一種用于等離子體浸沒注入劑量檢測的法拉第裝置，其特征在于，該裝置包括一個用于將收集到的離子流轉化成電信號的法拉第杯(40)和一個為該法拉第杯安裝提供支撐的保護環(33)。

2.根據權利要求1所述的用于等離子體浸沒注入劑量檢測的法拉第裝置，其特征在于，所述法拉第杯(40)由杯身和杯口構成，

杯身具有三層結構，在電性上分別是外導電層(44)、杯身絕緣層(43)和內導電層(42)，外導電層(44)用于屏蔽，杯身絕緣層(43)用于隔離內導電層和外導電層，內導電層(42)用于收集信號；

杯口具有三層結構，在電性上分別是上導電層(80a)、杯口絕緣層(80b)和下導電層(80c)，上導電層(80a)用于接負偏壓，杯口絕緣層(80b)用于隔離上導電層和下導電層，內導電層(80c)用于收集從法拉第杯(40)內部跑到杯口的二次電子。

3.根據權利要求2所述的用于等離子體浸沒注入劑量檢測的法拉第裝置，其特征在于，

所述內導電層(42)的材料是鋁、不銹鋼、石墨，或者是鋁、不銹鋼和石墨的任意組合；

所述外導電層(44)的材料是鋁、不銹鋼，或者是鋁和不銹鋼的任意組合；

所述杯身絕緣層(43)的材料是聚四氟乙烯、石英或陶瓷。

4.根據權利要求2所述的用于等離子體浸沒注入劑量檢測的法拉第裝置，其特征在于，所述杯口具有的三層結構是三片分立的塊材，或者是一片在絕緣層兩面分別鍍有導電層的塊材。

5.根據權利要求2所述的用于等離子體浸沒注入劑量檢測的法拉第裝置，其特征在于，

所述上導電層(80a)的材料是碳化硅或石墨；

所述杯口絕緣層(80b)的材料是鋁、不銹鋼，或者是鋁和不銹鋼的任意組合；

所述下導電層(80c)的材料是碳化硅或石墨。

6.根據權利要求2所述的用于等離子體浸沒注入劑量檢測的法拉第裝置，其特征在于，所述杯口進一步開有多個通孔，用于使離子能夠進入法拉第杯。

7.根據權利要求6所述的用于等離子體浸沒注入劑量檢測的法拉第裝置，其特征在于，所述通孔是圓孔或狹縫，通孔的排布是規則均勻排布或者是不規則無序排布。

8.根據權利要求1所述的用于等離子體浸沒注入劑量檢測的法拉第裝置，其特征在于，所述保護環(33)為環狀，其上開有與法拉第杯的杯口相同形狀的孔。

9.根據權利要求8所述的用于等離子體浸沒注入劑量檢測的法拉第裝置，其特征在于，所述保護環(33)的材料是鋁、不銹鋼，或者是鋁和不銹鋼的任意組合。