[發(fā)明專利]基于閾值變化的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)及方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910080059.5
• 申請(qǐng)日: 2009-03-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101839990A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 卜建輝;劉夢(mèng)新;劉剛;盧爍今;韓鄭生
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號(hào): G01T1/02
• 分類號(hào): G01T1/02
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 周國(guó)城

1.一種基于閾值變化的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括：

主控計(jì)算機(jī)，用于運(yùn)行圖形監(jiān)控測(cè)試程序，向數(shù)據(jù)采集卡輸出主控信號(hào)，接收數(shù)據(jù)采集卡返回的的劑量率測(cè)試結(jié)果并顯示；

數(shù)據(jù)采集卡，用于根據(jù)接收自主控計(jì)算機(jī)的主控信號(hào)向測(cè)試開(kāi)發(fā)板輸出時(shí)鐘信號(hào)；

測(cè)試開(kāi)發(fā)板，用于根據(jù)接收的時(shí)鐘信號(hào)執(zhí)行計(jì)數(shù)功能得到一數(shù)字信號(hào)，對(duì)該數(shù)字信號(hào)進(jìn)行數(shù)模轉(zhuǎn)換得到一模擬信號(hào)，對(duì)該模擬信號(hào)進(jìn)行信號(hào)放大得到0至-30V的程控電壓，然后將該0至-30V的程控電壓通過(guò)電纜線輸出給輻照源內(nèi)DUT開(kāi)發(fā)板，同時(shí)用于對(duì)DUT測(cè)試結(jié)果的采集；以及

輻照源內(nèi)DUT開(kāi)發(fā)板，用于將接收的0至-30V的程控電壓施加至待測(cè)SOI?PMOS上，通過(guò)對(duì)背柵閾值電壓變化的測(cè)試對(duì)劑量率進(jìn)行測(cè)試，并將得到的劑量率測(cè)試結(jié)果通過(guò)電纜線、測(cè)試開(kāi)發(fā)板、數(shù)據(jù)采集卡返回給主控計(jì)算機(jī)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于閾值變化的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述主控計(jì)算機(jī)內(nèi)部運(yùn)行一圖形監(jiān)控測(cè)試程序，該圖形監(jiān)控測(cè)試程序包括兩個(gè)While循環(huán)和一個(gè)條件結(jié)構(gòu)，由LABVIEW程序語(yǔ)言通過(guò)模塊化可視化的編程實(shí)現(xiàn)，用于主控?cái)?shù)據(jù)采集卡輸出時(shí)鐘信號(hào)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于閾值變化的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)采集卡為6210USB數(shù)據(jù)采集卡，用于進(jìn)行模擬電壓采集、脈沖信號(hào)輸出，以及波形編程輸出。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于閾值變化的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)試開(kāi)發(fā)板包括：

計(jì)數(shù)器，用于根據(jù)接收的時(shí)鐘信號(hào)執(zhí)行計(jì)數(shù)功能得到一數(shù)字信號(hào)，并將該數(shù)字信號(hào)輸出給數(shù)模轉(zhuǎn)換器；

數(shù)模轉(zhuǎn)換器，用于對(duì)接收的數(shù)字信號(hào)進(jìn)行數(shù)模轉(zhuǎn)換得到一模擬信號(hào)，并將該模擬信號(hào)輸出給運(yùn)算放大器；

運(yùn)算放大器，用于對(duì)接收的模擬信號(hào)進(jìn)行信號(hào)放大得到0至10V的程控電壓；

數(shù)據(jù)采集模塊，用于從DUT開(kāi)發(fā)板中采集數(shù)據(jù)；以及

高壓模塊，用于將0至10V的電壓放大并反向得到0至-30V的電壓，并將該0至-30V的程控電壓通過(guò)電纜線輸出給輻照源內(nèi)DUT開(kāi)發(fā)板。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于閾值變化的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述計(jì)數(shù)器為54HC590計(jì)數(shù)器，所述數(shù)模轉(zhuǎn)換器由DAC0832數(shù)模轉(zhuǎn)換芯片實(shí)現(xiàn)，所述運(yùn)算放大器為L(zhǎng)F351運(yùn)算放大器，

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于閾值變化的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述電纜線為35米長(zhǎng)3芯屏蔽電纜線，用于將接收自測(cè)試開(kāi)發(fā)板的0至-30V的程控電壓傳遞至輻照源內(nèi)DUT開(kāi)發(fā)板。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于閾值變化的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述輻照源內(nèi)DUT開(kāi)發(fā)板內(nèi)部可插器件1個(gè)，通過(guò)3芯屏蔽電纜線與測(cè)試開(kāi)發(fā)板相連接，器件有3個(gè)引出端口。

8.一種基于閾值變化的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試方法，其特征在于，該方法包括：

主控計(jì)算機(jī)運(yùn)行圖形監(jiān)控測(cè)試程序，向數(shù)據(jù)采集卡輸出主控信號(hào)；

數(shù)據(jù)采集卡根據(jù)接收的主控信號(hào)向測(cè)試開(kāi)發(fā)板輸出時(shí)鐘信號(hào)；

測(cè)試開(kāi)發(fā)板根據(jù)接收的時(shí)鐘信號(hào)執(zhí)行計(jì)數(shù)功能得到一數(shù)字信號(hào)，對(duì)該數(shù)字信號(hào)進(jìn)行數(shù)模轉(zhuǎn)換得到一模擬信號(hào)，對(duì)該模擬信號(hào)進(jìn)行信號(hào)放大得到0至-30V的程控電壓，然后將該0至-30V的程控電壓通過(guò)電纜線輸出給輻照源內(nèi)DUT開(kāi)發(fā)板；

輻照源內(nèi)DUT開(kāi)發(fā)板將接收的0至-30V的程控電壓施加至待測(cè)SOIPMOS上，通過(guò)對(duì)背柵閾值電壓變化的測(cè)試對(duì)環(huán)境的劑量率進(jìn)行測(cè)試，并將得到的劑量率測(cè)試結(jié)果通過(guò)電纜線、測(cè)試開(kāi)發(fā)板、數(shù)據(jù)采集卡返回給主控計(jì)算機(jī)；

主控計(jì)算機(jī)接收并顯示數(shù)據(jù)采集卡返回的的劑量率測(cè)試結(jié)果。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基于閾值變化的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試方法，其特征在于，所述測(cè)試開(kāi)發(fā)板執(zhí)行的處理步驟，具體包括：

測(cè)試開(kāi)發(fā)板的計(jì)數(shù)器根據(jù)接收自數(shù)據(jù)采集卡的時(shí)鐘信號(hào)執(zhí)行計(jì)數(shù)功能得到一數(shù)字信號(hào)，并將該數(shù)字信號(hào)輸出給數(shù)模轉(zhuǎn)換器；

數(shù)模轉(zhuǎn)換器對(duì)接收的數(shù)字信號(hào)進(jìn)行數(shù)模轉(zhuǎn)換得到一模擬信號(hào)，并將該模擬信號(hào)輸出給運(yùn)算放大器；

運(yùn)算放大器對(duì)接收的模擬信號(hào)進(jìn)行信號(hào)放大得到0至10V的程控電壓。

高壓模塊把0至10V的電壓放大并反向得到0至-30V的電壓，并將該0至-30V的程控電壓通過(guò)電纜線輸出給輻照源內(nèi)DUT開(kāi)發(fā)板。