[發(fā)明專利]具有雙負(fù)阻特性的負(fù)阻材料無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910077046.2 | 申請日： | 2009-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN101462871A | 公開（公告）日： | 2009-06-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李建奇;曾倫杰;楊槐馨;秦元斌 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院物理研究所 |
| 主分類號： | C04B35/26 | 分類號： | C04B35/26;C04B35/622 |
| 代理公司： | 北京中創(chuàng)陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 尹振啟 |
| 地址： | 100190北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 雙負(fù)阻 特性 材料 | ||
1、一種具有雙負(fù)阻特性的負(fù)阻材料，其特征在于，該負(fù)阻材料同時具有電壓控制型和電流控制型負(fù)阻特性。
2、如權(quán)利要求1所述的負(fù)阻材料，其特征在于，該負(fù)阻材料是過渡金屬氧化物，化學(xué)式為(LuxR1+n-x)(FeyM2+n-y)O4+3n(n＝0，1，2，3)，其中，R為稀土元素，包括鐿、镥、釔、鉺、鈥和銩，M為過渡族金屬元素或IIA族金屬元素，包括錳、鈷、銅和鎂，x、y為原子百分比含量，0≤x≤1+n，0≤y≤2+n。
3、如權(quán)利要求1所述的負(fù)阻材料，其特征在于，該負(fù)阻材料具有層狀結(jié)構(gòu)，由鐵氧單層、镥氧層和鐵氧雙層交替排列而成；鐵氧雙層中的鐵原子在該化合物中以混合價態(tài)形式存在，并形成三角阻挫結(jié)構(gòu)。
4、如權(quán)利要求4所述的負(fù)阻材料，其特征在于，通過公知手段進(jìn)行摻雜替代，可以使所述負(fù)阻材料中的部分镥原子和鐵原子分別被R原子和M原子所替代。
5、如權(quán)利要求1所述的負(fù)阻材料，其特征在于，該負(fù)阻材料的存在形式為多晶、單晶或者薄膜。
6、制備上述權(quán)利要求1-4任一所述負(fù)阻材料的方法，具體為：
首先將Lu、Fe、R、M的氧化物原料進(jìn)行配料，使元素Lu、Fe、R、M的原子比為x:y:(1+n-x):(2+n-y)，其中n＝0、1、2、3，0≤x≤1+n，0≤y≤2+n；
將原料混合均勻后，進(jìn)行第一次壓制成型；
將第一次壓制成型的樣品在空氣中1100℃—1400℃溫度下，預(yù)燒結(jié)24-72小時；
將經(jīng)燒結(jié)后的第一次壓制成型的樣品研磨均勻，并將研磨后的材料第二次壓制成型；
在二氧化碳與氫氣摩爾比值為5-80的氧化還原氣氛中，將第二次壓制成型的樣品在1100℃—1400℃溫度下燒結(jié)24-72小時；
將爐溫降低至800℃—1000℃后，將樣品放入冰水混合物中快速降溫來對其進(jìn)行快速淬火，得到所需的負(fù)阻材料。
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