[發(fā)明專利]高真空場調制有機小分子定向納米薄膜的制備方法及系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910076567.6
• 申請日: 2009-01-09
• 公開（公告）號: CN101463463A
• 公開（公告）日: 2009-06-24
• 發(fā)明（設計）人: 張福俊;徐征;王永生;趙謖玲;盧麗芳
• 申請（專利權）人: 北京交通大學
• 主分類號: C23C14/12
• 分類號: C23C14/12;H01L51/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.高真空場調制有機小分子定向納米薄膜的制備方法，其特征是：制備方法的步驟：

步驟1，給裝有有機小分子材料的蒸發(fā)舟(3)通直流電，蒸發(fā)速率0.1nm/s～0.3nm/s；

步驟2，在蒸發(fā)的時候，由白光光源(5)向真空腔中入射一束白光，光強為100～1000坎德拉，發(fā)出的白光，通過放在玻璃視窗(7)前的偏振片(6)獲得一束偏振光，偏振光的偏振化方向平行于蒸發(fā)粒子流方向，這束入射光調制單個有機小分子材料分子的取向；

步驟3，被光場調制的有機小分子將垂直于襯底排布，形成定向排布的有機小分子納米薄膜；

步驟1中所述的有機小分子材料為：八羥基喹啉鋁、酞菁銅或聚丁二烯。

2.高真空場調制有機小分子定向納米薄膜的制備系統(tǒng)，包括高真空蒸發(fā)腔，其特征是：在高真空蒸發(fā)腔(1)一側的中部開一個與腔體密封的直徑為10cm的玻璃視窗(7)，高真空蒸發(fā)腔外，緊挨著玻璃視窗固定一個方向能調節(jié)的偏振片(6)，在偏振片前放置一個光強能調節(jié)的白光光源(5)。