[發(fā)明專利]CMP拋光液供應系統無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910075364.5 | 申請日： | 2009-09-14 |
| 公開（公告）號： | CN101648365A | 公開（公告）日： | 2010-02-17 |
| 發(fā)明（設計）人： | 廖垂鑫;柳濱;陳威 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第四十五研究所 |
| 主分類號： | B24B57/02 | 分類號： | B24B57/02;B24B37/04;B24B29/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 石家莊新世紀專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 董金國 |
| 地址： | 065201河北省三*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | cmp 拋光 供應 系統 | ||
【權利要求書】：
1、一種CMP拋光液供應系統，其特征在于其包括拋光液存儲罐(6)、設置在拋光液存儲罐(6)內的由攪拌電機(3)和攪拌葉片(5)構成的攪拌裝置、設置在拋光液存儲罐(6)內的冷卻液管(4)以及設置在拋光液存儲罐(6)內的溫度傳感器(9)，去離子水管(10)和拋光液管(11)通過三位三通電磁閥(1)、液體流量計(2)和拋光液存儲罐(6)相連通。
2、根據權利要求1所述的CMP拋光液供應系統，其特征在于在拋光液存儲罐(6)內的上端設置有上液位傳感器(7)、在拋光液存儲罐(6)內的下端設置有下液位傳感器(8)。
3、根據權利要求1或2所述的CMP拋光液供應系統，其特征在于三位三通電磁閥(1)的一個入口接拋光液管(11)，另一個入口接去離子水管(10)，當三位三通電磁閥(1)處于中位時，三位三通電磁閥(1)關閉，當三位三通電磁閥(1)處于右位時，接通拋光液管(11)；當三位三通電磁閥(1)處于左位時，接通去離子水管(10)。
4、根據權利要求1或2所述的CMP拋光液供應系統，其特征在于攪拌電機(3)設置在拋光液存儲罐(6)中央的正上方，和攪拌電機(3)的傳動軸相連接的攪拌葉片(5)設置在拋光液存儲罐(6)液面以下。
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