[發(fā)明專利]基于反鐵電厚膜場致相變應(yīng)變效應(yīng)的微懸臂梁驅(qū)動構(gòu)件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910074573.8 | 申請日： | 2009-06-26 |
| 公開（公告）號： | CN101590999A | 公開（公告）日： | 2009-12-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張文棟;丑修建;熊繼軍;薛晨陽;劉俊;趙振宇;王靜;牛康康 | 申請（專利權(quán)）人： | 中北大學(xué) |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 山西太原科衛(wèi)專利事務(wù)所 | 代理人： | 朱 源;駱 洋 |
| 地址： | 030051山*** | 國省代碼： | 山西;14 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 反鐵電厚膜場致 相變 應(yīng)變 效應(yīng) 懸臂梁 驅(qū)動 構(gòu)件 | ||
1.一種基于反鐵電厚膜場致相變應(yīng)變效應(yīng)的微懸臂梁驅(qū)動構(gòu)件，其特征在于按照如下工藝步驟加工制造：
①以溶膠-凝膠工藝技術(shù)配制濃度為0.2mol/l～0.6mol/l的鉛基反鐵電材料前軀體溶膠、以及濃度為0.2mol/l～0.4mol/l的PbO溶膠；
②以上表面鍍有Pt金屬層的硅基或Pt/TiO2/SiO2/Si作為支撐基底，通過勻膠機以2000～4000r/min的旋膠速度將步驟①配制的鉛基反鐵電材料前軀體溶膠旋涂于支撐基底的Pt金屬層(2)上，旋膠時間為10s～30s；并在旋膠后，將支撐基底置于管式爐中以400℃～600℃的溫度進行8～20min的熱處理，熱處理后，由管式爐中取出，冷卻至室溫，重復(fù)上述旋膠、熱處理工藝步驟，直至在支撐基底的Pt金屬層(2)上獲得厚度為1μm～10μm的鉛基反鐵電材料厚膜(3)；
③通過勻膠機以2000～4000r/min的旋膠速度將步驟①配制的PbO溶膠旋涂于鉛基反鐵電材料厚膜(3)上，旋膠時間為15s～20s，然后，將支撐基底置于管式爐中進行退火處理，退火溫度為650℃～750℃，時長20min～40min，退火處理后，由管式爐中取出，置于空氣中冷卻至室溫；
④利用光刻工藝在經(jīng)步驟③處理后的鉛基反鐵電材料厚膜(3)上定義出微懸臂梁的圖形，并按照微懸臂梁的圖形濺射沉積厚度為100nm～300nm的金屬層，該金屬層作為上電極(4)，鉛基反鐵電材料厚膜(3)下方的Pt金屬層(2)作為下電極；并在經(jīng)步驟③處理后的鉛基反鐵電材料厚膜(3)上濺射沉積分別用于與上、下電極連接的壓焊點(1、8)，在支撐基底側(cè)端面上濺射沉積實現(xiàn)下電極與相應(yīng)壓焊點(8)連接的金屬層(5)；
⑤利用背面刻蝕工藝對支撐基底背面進行腐蝕，使支撐基底中部厚度減至10μm～50μm；按照步驟④中利用光刻工藝定義出的微懸臂梁圖形，以正面刻蝕工藝對鉛基反鐵電材料厚膜(3)、及支撐基底中部進行刻蝕，形成外圍基座(6)、及與外圍基座單端相連的懸臂梁結(jié)構(gòu)(7)。
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