[發明專利]鎢酸鋯薄膜的制備方法

無效

• 申請號: 200910072017.7
• 申請日: 2009-05-13
• 公開（公告）號: CN101550548A
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發明（設計）人: 李剛;李錦州;柳寧
• 申請（專利權）人: 哈爾濱師范大學
• 主分類號: C23C20/08
• 分類號: C23C20/08
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所
• 代理人: 榮 玲

1.鎢酸鋯薄膜的制備方法，其特征在于鎢酸鋯薄膜的制備方法按照以下步驟進行：一、將0.82～1.92g硝酸氧鋯加入到5～15mL溶劑中，在50～80℃條件下攪拌5～10min得到A溶液；其中溶劑為乙酸、丙醇、異丙醇、甲醇、乙二醇或乙二醇甲醚；二、將0.95～3.25g絡合劑、15～25mL溶劑和1.15～3.92g的偏鎢酸銨混合均勻得到B溶液，其中絡合劑為檸檬酸、乙二胺四乙酸或草酸，溶劑為乙酸、丙醇、異丙醇、甲醇、乙二醇、醋酸或乙二醇甲醚；三、將A溶液和B溶液混合均勻，在35～60℃條件下陳化1～3天，得到溶膠；四、將步驟三制備得到的溶膠滴加到基片上，每平方厘米的基片上滴加0.02～0.08mL的溶膠，以3000～4000r/min旋涂5～15s即可得到濕膜，再將濕膜置于300～500℃的平板爐上預燒1～3min；五、重復操作步驟四10～20次即可得到鎢酸鋯非晶薄膜；六、將鎢酸鋯非晶薄膜置于600℃～800℃條件下晶化10～40分鐘，即制備得到鎢酸鋯薄膜。

2.根據權利要求1所述的鎢酸鋯薄膜的制備方法，其特征在于步驟一中將1～1.6g硝酸氧鋯加入到7～13mL溶劑中。

3.根據權利要求1所述的鎢酸鋯薄膜的制備方法，其特征在于步驟一中將1.5g硝酸氧鋯加入到10mL溶劑中。

4.在根據權利要求1或2所述的鎢酸鋯薄膜的制備方法，其特征在于步驟一中在60～70℃條件下攪拌6～8min。

5.根據權利要求4所述的鎢酸鋯薄膜的制備方法，其特征在于步驟二中將1.3～2.7g絡合劑、17～22mL溶劑和1.6～3.3g的偏鎢酸銨混合均勻得到B溶液。

6.根據權利要求1、2或5所述的鎢酸鋯薄膜的制備方法，其特征在于步驟三在45～55℃條件下陳化2天。

7.根據權利要求6所述的鎢酸鋯薄膜的制備方法，其特征在于步驟四中基片為AlN基片、BN基片、MgO基片、Al₂O₃基片、Si₃N₄基片、SiC基片、SiO₂基片、Si基片、Pt/Ti/SiO₂/Si基片或石英基片。

8.根據權利要求1、2、5或7所述的鎢酸鋯薄膜的制備方法，其特征在于步驟四中每平方厘米的基片上滴加0.03～0.06mL的溶膠。

9.根據權利要求8所述的鎢酸鋯薄膜的制備方法，其特征在于步驟四中以3200～3700r/min旋涂8～12s。

10.根據權利要求1、2、5、7或9所述的鎢酸鋯薄膜的制備方法，其特征在于步驟六中制備得到的鎢酸鋯薄膜的厚度為300～500nm。