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[發明專利]β-Si3N4單晶的制備方法無效

專利信息
申請號: 200910071454.7 申請日: 2009-02-27
公開(公告)號: CN101514494A 公開(公告)日: 2009-08-26
發明(設計)人: 葉楓;劉利盟;張海礁 申請(專利權)人: 哈爾濱工業大學
主分類號: C30B29/38 分類號: C30B29/38
代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 代理人: 金永煥
地址: 150001黑龍江*** 國省代碼: 黑龍江;23
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: si sub 制備 方法
【權利要求書】:

1.β-Si3N4單晶的制備方法,其特征在于β-Si3N4單晶的制備方法按以下步驟進行:一、按重量比20~99∶1~80稱取α-Si3N4粉末和添加劑,混合后加入重量百分比濃度為0.5%~5%的聚乙烯醇水溶液,球磨混合1~24h,得泥漿;二、將泥漿倒入敞口石墨容器中,然后在20~90℃的條件下烘干,得坯體;三、將盛有坯體的石墨容器置于高溫爐中,然后在溫度為1400~2200℃、壓強為0.1~10MPa的氮氣氣氛中保溫燒結0.1~10h,得塊體;四、將塊體破碎,放入400℃熔融的NaOH中1~30min,收集沉淀物,然后用水清洗3~5次,即得β-Si3N4單晶;其中步驟一中添加劑的體系結構式為:MO·mAl2O3·nSiO2,M為Mg、Ca、Sr、Ba中的一種或幾種,m=0~2,n=0~4;步驟一中聚乙烯醇水溶液的加入量為混合物總體積的30%~95%。

2.根據權利要求1所述的β-Si3N4單晶的制備方法,其特征在于步驟一中α-Si3N4粉末的粒徑為0.1~10μm、質量純度大于99.5%。

3.根據權利要求2所述的β-Si3N4單晶的制備方法,其特征在于步驟一中球磨混合采用氧化鋯、氧化鋁或氮化硅磨球,球料比為5∶1。

4.根據權利要求3所述的β-Si3N4單晶的制備方法,其特征在于步驟一中按重量比70~95∶5~30稱取α-Si3N4粉末和添加劑。

5.根據權利要求3所述的β-Si3N4單晶的制備方法,其特征在于步驟一中按重量比95∶5稱取α-Si3N4粉末和添加劑。

6.根據權利要求3所述的β-Si3N4單晶的制備方法,其特征在于步驟一中按重量比90∶10稱取α-Si3N4粉末和添加劑。

7.根據權利要求3所述的β-Si3N4單晶的制備方法,其特征在于步驟一中按重量比80∶20稱取α-Si3N4粉末和添加劑。

8.根據權利要求4、5、6或7所述的β-Si3N4單晶的制備方法,其特征在于步驟一中添加劑的體系結構式為:BaO·Al2O3·2SiO2

9.根據權利要求8所述的β-Si3N4單晶的制備方法,其特征在于步驟二中在30~80℃的條件下烘干。

10.根據權利要求9所述的β-Si3N4單晶的制備方法,其特征在于步驟三中在溫度為1600~2000℃、壓強為2~8MPa的氮氣氣氛中保溫燒結1~9h。

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