[發明專利]超精密電液伺服控制的動靜壓軸承與進給機構

有效

• 申請號: 200910069650.0
• 申請日: 2009-07-08
• 公開（公告）號: CN101586626A
• 公開（公告）日: 2009-11-25
• 發明（設計）人: 路文忠
• 申請（專利權）人: 路文忠
• 主分類號: F16C32/06
• 分類號: F16C32/06;B23B19/02
• 代理公司: 天津市鼎和專利商標代理有限公司
• 代理人: 李 鳳

1.一種超精密電液伺服控制的進給機構，包括有分別通過8個小孔節流器(2)向主 軸機構(3)供油的第一供油系統(1)，其特征在于，還設置有通過電液伺服閥(15) 向主軸機構(3)中的前定心動靜壓軸承(B)供油的第二供油系統(16)；所述主軸機 構(3)是由主軸(4)、套在主軸(4)前端的前定心動靜壓軸承套(8)、套在主軸(4) 后端的動靜壓軸承套(11)和設置在主軸(4)前端的靜壓止推軸承套(6)及法蘭(5) 構成；所述前定心動靜壓軸承套(8)和動靜壓軸承套(11)的內周面上都設置有均布的 四個承壓槽(12)和四個回油槽(13)，動靜壓軸承套(11)的四個承壓槽(12)由所 述第一供油系統(1)通過四個所述小孔節流器(2)供油，所述前定心動靜壓軸承套(8) 的垂直方向的兩個承壓槽(12)由所述第一供油系統(1)通過所述小孔節流器(2)供 油，而水平方向的兩個承壓槽(12)通過所述電液伺服閥(15)由第二供油系統(16) 供油；前定心動靜壓軸承套(8)和動靜壓軸承套(11)的四個回油槽(13)均與油箱(14) 相通；靜壓止推軸承套(6)經由所述小孔節流器(2)由第一供油系統(1)供油，位于 主軸(4)前端的前定心動靜壓軸承套(8)上的兩個通過所述電液伺服閥(15)供油的 承壓槽(12)中的一個設置有一電容位移傳感器(17)，所述的電容位移傳感器(17) 依次通過第一放大器(18)、比較器(19)和第二放大器(10)與所述電液伺服閥(15) 連接，所述的比較器(19)還接收已設定的用于與電容位移傳感器(17)所傳信號進行 比較的指令信號。

2.根據權利要求1所述的超精密電液伺服控制的進給機構，其特征是：所述的第一 供油系統(1)與第二供油系統(16)結構相同。

3.一種超精密電液伺服控制的進給機構，包括有分別通過8個小孔節流器(2)向 主軸機構(3)供油的第一供油系統(1)，其特征在于，還設置有通過電液伺服閥(15) 向主軸機構(3)中的前定心動靜壓軸承(B′)供油的第二供油系統(16)；所述主軸 機構(3)是由主軸(4)、套在主軸(4)前端的前定心動靜壓軸承套(8′)、套在主 軸(4)后端的動靜壓軸承套(11)和設置在主軸(4)前端適當位置的靜壓止推軸承套 (6)及法蘭(5)構成；所述前定心動靜壓軸承套(8′)的內周面上設置有3對6個均 布承壓槽(12)和六個回油槽(13)，每對承壓槽(12)均由一個所述電液伺服閥(15) 控制供油，共有三個電液伺服閥分別對三對承壓槽(12)進行供油控制，所述的三個電 液伺服閥均由第二供油系統(16)供油，所述的三個電液伺服閥結構參數完全相同，六 個回油槽(13)均與油箱(14)相通；靜壓止推軸承套(6)經由所述小孔節流器(2) 由第一供油系統(1)供油，前定心動靜壓軸承套(8′)的3對承壓槽(12)上各設置1 個電容位移傳感器(17)，3個所述的電容位移傳感器(17)中的每一個依次通過與該電 容位移傳感器(17)對應的第一放大器(18)、比較器(19)和第二放大器(10)與所 述電液伺服閥(15)連接，所述的比較器(19)還接收已設定的用于與電容位移傳感器 (17)所傳信號進行比較的指令信號。