[發明專利]超精密電液伺服控制靜壓直線導軌有效
| 申請號： | 200910069648.3 | 申請日： | 2009-07-08 |
| 公開（公告）號： | CN101585143A | 公開（公告）日： | 2009-11-25 |
| 發明（設計）人： | 路文忠 | 申請（專利權）人： | 路文忠 |
| 主分類號： | B23Q1/01 | 分類號： | B23Q1/01 |
| 代理公司： | 天津市鼎和專利商標代理有限公司 | 代理人： | 李 鳳 |
| 地址： | 300409天津市津*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 精密 伺服 控制 靜壓 直線導軌 | ||
1.一種超精密電液伺服控制靜壓直線導軌，包括有床身(25)和用于放置工件(24)的滑座(23)，其特征是：所述的滑座(23)的底面固定設置有滑塊(21)，所述的滑塊(21)內形成有開口向下的凹槽(26)；而所述的床身(25)上與所述的滑塊(21)的凹槽(26)相對應的固定設置有能夠嵌入到滑塊(21)的凹槽(26)內的導軌(22)；所述的滑塊(21)的凹槽(26)的內周壁上開有在與導軌(22)結合后起潤滑和承載作用的第一至第四壓力油腔(17、18、19、20)，所述的第一至第四壓力油腔(17、18、19、20)通過油路和設置在油路上的電液伺服機構與供油系統連通；所述的電液伺服機構包括有：通過油路分別與供油系統、形成在滑塊(21)內的第一至第四壓力油腔(17、18、19、20)對應連通的第一至第四電液比例節流閥(27、28、29、30)，還有設置在滑塊(21)的臨近導軌(22)的基面處的第一至第四電容位移傳感器(31、32、33、34)，其中，所述的第一電容位移傳感器(31)依次通過第一放大器(35)、第一比較器(36)和第二放大器(37)與第一電液比例節流閥(27)連接，所述的第一比較器(36)還接收從控制系統(A)過來的已設定的用于與第一電容位移傳感器(31)所傳信號進行比較的指令信號；同樣，所述的第二電容位移傳感器(32)依次通過第三放大器(38)、第二比較器(39)、第四放大器(40)與第二電液比例節流閥(28)連接，所述的第二比較器(39)還接收從控制系統(A)過來的已設定的用于與第二電容位移傳感器(32)所傳信號進行比較的指令信號；所述的第三電容位移傳感器(33)依次通過第五放大器(41)、第三比較器(42)、第六放大器(43)與第三電液比例節流閥(29)連接，所述的第三比較器(42)還接收從控制系統(A)過來的已設定的用于與第三電容位移傳感器(33)所傳信號進行比較的指令信號；所述的第四電容位移傳感器(34)依次通過第七放大器(44)、第四比較器(45)、第八放大器(46)與第四電液比例節流閥(30)連接，所述的第四比較器(45)還接收從控制系統(A)過來的已設定的用于與第四電容位移傳感器(34)所傳信號進行比較的指令信號。
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